国内外特种气体吹洗系统及其应用

阐述了吹洗系统在特种气体贮存、输送、使用过程中的重要性 ,介绍了稀释和置换两种吹洗方法、操作步骤、优缺点对比及其国内外现状。

特气气瓶柜吹洗系统

气瓶柜是处理半导体特殊气体的重要装置。本文着重介绍了半导体气瓶柜吹洗系统的结构特点、设计要求，以及气体处理技术和安全操作。