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偏压类型对磁过滤等离子体制备优质类金刚石膜的影响
被引量:
3
1
作者
闫鹏勋
李晓春
+2 位作者
李春
李鑫
徐建伟
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期987-992,共6页
采用自行研制的磁过滤等离子体装置在单晶Si基底上制备了优质类金刚石(DLC)薄膜。运用红外光谱(IR)、扫描电镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对样品进行了表征和分析,着重研究了衬底偏压类型对制备薄膜的影响。结果表明:在无偏压...
采用自行研制的磁过滤等离子体装置在单晶Si基底上制备了优质类金刚石(DLC)薄膜。运用红外光谱(IR)、扫描电镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对样品进行了表征和分析,着重研究了衬底偏压类型对制备薄膜的影响。结果表明:在无偏压或周期性负偏压下制备的DLC薄膜的sp3含量比连续负偏压下制备的薄膜的sp3含量要高;同时在周期性偏压下制备的薄膜表面较光滑,其表面粗糙度仅为0.1nm,sp3含量达到66.8%,相应的纳米硬度也较高(达到80GPa)。同时对相应的成膜机理进行了讨论。
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关键词
周期性偏压
优质DLC膜
磁过滤等离子体
硬度
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职称材料
高质量非晶金刚石薄膜的制备研究
2
作者
闫鹏勋
李晓春
+4 位作者
李春
崇二敏
刘洋
李鑫
徐建伟
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期127-130,146,共5页
利用自行研制的磁过滤等离子体技术(FCAP),并创造性地对衬底施加低频率周期性负偏压,在室温下的单晶硅表面上制备了高质量的非晶金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),红外吸收光谱(IR),纳米硬度计和摩擦...
利用自行研制的磁过滤等离子体技术(FCAP),并创造性地对衬底施加低频率周期性负偏压,在室温下的单晶硅表面上制备了高质量的非晶金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),红外吸收光谱(IR),纳米硬度计和摩擦试验仪对制备的非晶金刚石薄膜进行了结构和性能表征。实验结果表明:制备的非晶金刚石薄膜表面十分光滑,表面粗糙度仅为0.1nm;薄膜中sp^3键成份高达70.7%,对应薄膜硬度达到74.8GPa,接近金刚石的硬度;薄膜摩擦系数在0.12-0.16之间。文中也讨论了偏压类型对沉积薄膜结构的影响。
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关键词
磁过滤等离子体
非晶金刚石膜
周期性偏压
性能
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职称材料
题名
偏压类型对磁过滤等离子体制备优质类金刚石膜的影响
被引量:
3
1
作者
闫鹏勋
李晓春
李春
李鑫
徐建伟
机构
兰州大学等离子体与金属材料研究所
出处
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期987-992,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(10074022)
文摘
采用自行研制的磁过滤等离子体装置在单晶Si基底上制备了优质类金刚石(DLC)薄膜。运用红外光谱(IR)、扫描电镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对样品进行了表征和分析,着重研究了衬底偏压类型对制备薄膜的影响。结果表明:在无偏压或周期性负偏压下制备的DLC薄膜的sp3含量比连续负偏压下制备的薄膜的sp3含量要高;同时在周期性偏压下制备的薄膜表面较光滑,其表面粗糙度仅为0.1nm,sp3含量达到66.8%,相应的纳米硬度也较高(达到80GPa)。同时对相应的成膜机理进行了讨论。
关键词
周期性偏压
优质DLC膜
磁过滤等离子体
硬度
Keywords
periodic bias
high-quality DLC films
magnetic filtered plasma
hardness
分类号
TG175 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
高质量非晶金刚石薄膜的制备研究
2
作者
闫鹏勋
李晓春
李春
崇二敏
刘洋
李鑫
徐建伟
机构
兰州大学等离子体与金属材料研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期127-130,146,共5页
基金
国家自然科学基金项目(No.10074022)
教育部优秀青年教师资助计划支持
文摘
利用自行研制的磁过滤等离子体技术(FCAP),并创造性地对衬底施加低频率周期性负偏压,在室温下的单晶硅表面上制备了高质量的非晶金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM),红外吸收光谱(IR),纳米硬度计和摩擦试验仪对制备的非晶金刚石薄膜进行了结构和性能表征。实验结果表明:制备的非晶金刚石薄膜表面十分光滑,表面粗糙度仅为0.1nm;薄膜中sp^3键成份高达70.7%,对应薄膜硬度达到74.8GPa,接近金刚石的硬度;薄膜摩擦系数在0.12-0.16之间。文中也讨论了偏压类型对沉积薄膜结构的影响。
关键词
磁过滤等离子体
非晶金刚石膜
周期性偏压
性能
Keywords
filtered cathodic arc plasma
amorphous diamond films
periodic bias
property
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
偏压类型对磁过滤等离子体制备优质类金刚石膜的影响
闫鹏勋
李晓春
李春
李鑫
徐建伟
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
下载PDF
职称材料
2
高质量非晶金刚石薄膜的制备研究
闫鹏勋
李晓春
李春
崇二敏
刘洋
李鑫
徐建伟
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
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