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题名周期换向脉冲参数对电镀金的影响
被引量:2
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作者
王卿
张勇斌
陈金明
王锋
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机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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出处
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期1-8,共8页
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基金
国家自然科学基金(51475439)
四川省科技计划项目(2018JY0620)
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文摘
采用周期换向脉冲在柠檬酸盐体系中电镀金,研究了正向脉冲数、反向脉冲峰电流密度和反向脉冲宽对沉积速率,镀金层表面形貌、相结构和厚度均匀性的影响。得到的较优工艺参数为:正向脉冲峰电流密度2.76 A/dm^2,正向脉冲宽100μs,正向占空比10%,正向脉冲数5~15;反向脉冲峰电流密度3.45~6.21 A/dm^2,反向脉冲宽100~160μs,反向占空比10%,反向脉冲数1。在较佳工艺下的沉积速率约为0.11μm/min,所得镀金层均匀、致密,呈光亮的金黄色。
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关键词
电镀金
周期换向脉冲波形
沉积速率
表面形貌
相结构
厚度均匀性
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Keywords
gold electroplating
periodic pulse reverse waveform
surface morphology
deposition rate
phase structure
thickness uniformity
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分类号
TQ153.18
[化学工程—电化学工业]
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