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头孢唑类缓蚀剂及其机理研究
被引量:
7
1
作者
赵地顺
刘会茹
+2 位作者
徐智策
庞登甲
王春芳
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期725-728,共4页
在研究锌锰干电池缓蚀剂的基础上 ,筛选了一种头孢唑类的新型缓蚀剂 .通过极化曲线的测试 ,得到这种缓蚀剂具有良好的缓蚀效果 ,并用交流阻抗对其机理进行了较深入的研究 .
关键词
头孢
唑类缓蚀剂
交流阻抗
锌锰干电池
防护工程
作用机理
下载PDF
职称材料
含卤素酸性溶液中唑类缓蚀剂缓蚀机理的分子模拟
被引量:
1
2
作者
成文峰
张向东
+3 位作者
熊友强
曹俊秀
薄煜
胡松青
《腐蚀与防护》
CAS
北大核心
2019年第9期667-670,673,共5页
采用分子模拟方法,研究了含有卤素离子的硫酸溶液中2-巯基苯并噁唑(MBO)、2-巯基苯并咪唑(MBI)和2-巯基苯并噻唑(MBT)三种头基唑类缓蚀剂在Fe表面的吸附成膜机理,从平衡吸附构型、缓蚀剂膜内水分子分布和迁移运动规律、缓蚀剂与金属表...
采用分子模拟方法,研究了含有卤素离子的硫酸溶液中2-巯基苯并噁唑(MBO)、2-巯基苯并咪唑(MBI)和2-巯基苯并噻唑(MBT)三种头基唑类缓蚀剂在Fe表面的吸附成膜机理,从平衡吸附构型、缓蚀剂膜内水分子分布和迁移运动规律、缓蚀剂与金属表面相互作用能等方面系统探索了不同唑类缓蚀剂的缓蚀机理。结果表明:三种缓蚀剂的成膜性能由大到小顺序为MBT>MBI>MBO,质子化的缓蚀剂头基与带负电的金属表面卤素离子之间的静电相互作用是导致不同唑类缓蚀剂成膜性能差异的关键,卤素离子与质子化缓蚀剂分子存在协同作用,能够大大增强缓蚀剂在酸性溶液中的缓蚀性能。
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关键词
唑类缓蚀剂
卤素离子
缓蚀
机理
分子模拟
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职称材料
Cu/Co阻挡层中复配缓蚀剂缓蚀机理与研究进展
3
作者
罗博文
高宝红
+3 位作者
石越星
李雯浩宇
霍金向
贺斌
《微电子学》
CAS
北大核心
2024年第2期264-276,共13页
抛光液是化学机械抛光(CMP)的关键要素之一,其中缓蚀剂是抛光液的基本组分之一。传统的缓蚀剂缓蚀效果差,缓蚀效率低。而复配缓蚀剂因缓蚀效率高、缓蚀效果好和环境友好等优势成为CMP领域研究重点。根据文献,分析了唑类缓蚀剂对Cu/Co阻...
抛光液是化学机械抛光(CMP)的关键要素之一,其中缓蚀剂是抛光液的基本组分之一。传统的缓蚀剂缓蚀效果差,缓蚀效率低。而复配缓蚀剂因缓蚀效率高、缓蚀效果好和环境友好等优势成为CMP领域研究重点。根据文献,分析了唑类缓蚀剂对Cu/Co阻挡层的缓蚀机理,对近五年来新型复配缓蚀剂在国内外CMP过程中的研究进展以及复配缓蚀剂的实验评价和分子动力学模拟进行了归纳总结。同时评价了电化学法中EIS、OCP和Tafel极化曲线,表面分析法中SEM和AFM,分子动力学模拟中DFT和ReaxFF对缓蚀剂缓蚀效果的分析。最后,对于目前复配缓蚀剂的问题进行了总结与展望。
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关键词
复配
缓蚀剂
缓蚀
机理
化学机械抛光
唑类缓蚀剂
Cu/Co阻挡层
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职称材料
题名
头孢唑类缓蚀剂及其机理研究
被引量:
7
1
作者
赵地顺
刘会茹
徐智策
庞登甲
王春芳
机构
河北科技大学化学与制药工程学院
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期725-728,共4页
基金
河北省自然科学基金 (批准号 :5 98184)资助
文摘
在研究锌锰干电池缓蚀剂的基础上 ,筛选了一种头孢唑类的新型缓蚀剂 .通过极化曲线的测试 ,得到这种缓蚀剂具有良好的缓蚀效果 ,并用交流阻抗对其机理进行了较深入的研究 .
关键词
头孢
唑类缓蚀剂
交流阻抗
锌锰干电池
防护工程
作用机理
Keywords
Inhibitor
Inhibiting mechanism
Inhibiting effect
分类号
TG174.42 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
含卤素酸性溶液中唑类缓蚀剂缓蚀机理的分子模拟
被引量:
1
2
作者
成文峰
张向东
熊友强
曹俊秀
薄煜
胡松青
机构
江西省赣华安全科技有限公司
中国石油大学(华东)
出处
《腐蚀与防护》
CAS
北大核心
2019年第9期667-670,673,共5页
文摘
采用分子模拟方法,研究了含有卤素离子的硫酸溶液中2-巯基苯并噁唑(MBO)、2-巯基苯并咪唑(MBI)和2-巯基苯并噻唑(MBT)三种头基唑类缓蚀剂在Fe表面的吸附成膜机理,从平衡吸附构型、缓蚀剂膜内水分子分布和迁移运动规律、缓蚀剂与金属表面相互作用能等方面系统探索了不同唑类缓蚀剂的缓蚀机理。结果表明:三种缓蚀剂的成膜性能由大到小顺序为MBT>MBI>MBO,质子化的缓蚀剂头基与带负电的金属表面卤素离子之间的静电相互作用是导致不同唑类缓蚀剂成膜性能差异的关键,卤素离子与质子化缓蚀剂分子存在协同作用,能够大大增强缓蚀剂在酸性溶液中的缓蚀性能。
关键词
唑类缓蚀剂
卤素离子
缓蚀
机理
分子模拟
Keywords
azole inhibitor
halogen ion
corrosion inhibition mechanism
molecular simulation
分类号
TG174.42 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
Cu/Co阻挡层中复配缓蚀剂缓蚀机理与研究进展
3
作者
罗博文
高宝红
石越星
李雯浩宇
霍金向
贺斌
机构
河北工业大学电子信息工程学院
河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心
河北省微电子专用材料与器件工程研究中心
河北工业大学材料与工程学院
出处
《微电子学》
CAS
北大核心
2024年第2期264-276,共13页
基金
国家自然科学基金资助项目(61704046)
河北省自然科学基金资助项目(F2022202072)。
文摘
抛光液是化学机械抛光(CMP)的关键要素之一,其中缓蚀剂是抛光液的基本组分之一。传统的缓蚀剂缓蚀效果差,缓蚀效率低。而复配缓蚀剂因缓蚀效率高、缓蚀效果好和环境友好等优势成为CMP领域研究重点。根据文献,分析了唑类缓蚀剂对Cu/Co阻挡层的缓蚀机理,对近五年来新型复配缓蚀剂在国内外CMP过程中的研究进展以及复配缓蚀剂的实验评价和分子动力学模拟进行了归纳总结。同时评价了电化学法中EIS、OCP和Tafel极化曲线,表面分析法中SEM和AFM,分子动力学模拟中DFT和ReaxFF对缓蚀剂缓蚀效果的分析。最后,对于目前复配缓蚀剂的问题进行了总结与展望。
关键词
复配
缓蚀剂
缓蚀
机理
化学机械抛光
唑类缓蚀剂
Cu/Co阻挡层
Keywords
compound corrosion inhibitors
corrosion inhibition mechanism
review
chemical mechanical polishing
azole corrosion inhibitors
Cu/Co barrier layer
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
头孢唑类缓蚀剂及其机理研究
赵地顺
刘会茹
徐智策
庞登甲
王春芳
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
7
下载PDF
职称材料
2
含卤素酸性溶液中唑类缓蚀剂缓蚀机理的分子模拟
成文峰
张向东
熊友强
曹俊秀
薄煜
胡松青
《腐蚀与防护》
CAS
北大核心
2019
1
下载PDF
职称材料
3
Cu/Co阻挡层中复配缓蚀剂缓蚀机理与研究进展
罗博文
高宝红
石越星
李雯浩宇
霍金向
贺斌
《微电子学》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
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