印刷电路板换热器换热槽道的喷淋蚀刻实验

印刷电路板换热器(printed circuit heat exchanger,简称PCHE)作为一种新型换热器紧凑度高,能在高温高压等恶劣条件下进行传热。利用化学蚀刻技术,能蚀刻出微米至毫米量级的PCHE换热单元通道.为了能优化蚀刻过程、提高蚀刻速率、减少黑色杂质的生成以蚀刻出高质量的换热单元微通道,本文采用正交喷淋蚀刻法研究了喷淋压力、蚀刻液化学组成成分及浓度、蚀刻液温度对201不锈钢蚀刻速率、侧蚀量及表面粗糙度等蚀刻质量的影响。通过正交蚀刻试验,在研究的水平范围内,得到最佳蚀刻参数为喷淋压力0.20 MPa、蚀刻液温度35℃、FeCl_3 350g·L^(-1)、H_3PO_4 1.5mol/L,其有利于实现PCHE换热单元通道低成本、高效率、可控的加工.