喷雾腐蚀机在Ti/Al腐蚀工艺中的应用

介绍了喷雾腐蚀机的主要结构和设计优点,简述了SiC功率器件Ti/Al湿法腐蚀工艺;并就生产过程中出现的腐蚀液温度控制、液位传感器、图像识别对中等方面存在的不足做了相应改进。提高了工艺稳定性和生产效率。