OLED照明器件制备技术研究进展

由于具备健康环保的固态照明的特点以及轻薄柔性的设计多元的优势,有机发光二级管(OLED)作为新一代的照明技术在近期得到了前所未有的关注以及发展。本文在介绍OLED照明制备技术的基础上,着重分析各制备技术近期最新的研究进展,并且探讨最优的适合产业化生产的制备技术方案。

制备纳米级ULSI的极紫外光刻技术

在下一代光刻技术中,由于极紫外光刻(EUVL)分辨率高、且具有一定的产量优势及传统光学光刻技术的延伸性,因而是IC业界制备纳米级ULSI器件的首选光刻方案之一。本文论述了EUVL技术的原理、加工工艺和设备,并对比分析了EUVL的生产成本、应用前景及其优缺点。

高效叠层有机发光二极管及其制备技术

有机发光二极管(OLED)是通过有机材料获得电致发光的一种半导体二极管,它可广泛用于新一代信息显示和健康照明。由于OLED是一种电流驱动器件,器件的发光亮度与工作寿命具有相反的变化趋势,因此,OLED的发光亮度和工作寿命一直是其走向市场的主要障碍。为了缓解OLED发光亮度与工作寿命的内在矛盾,人们提出了叠层OLED的器件结构。叠层OLED是通过特殊的内部连接层,把多个有机发光(EL)单元在器件内部进行电学串联而形成的一种新型OLED,它可以同时具备高效率和长寿命的特点。为此,主要基于作者团队的前期工作,重点讨论了叠层OLED的设计原理及其选择内部连接层材料的几个原则;提出了器件性能的优化方法;并介绍了团队在国家"863"计划和国家重点研发计划支持下所进行的OLED生产示范线的设计与制造。最后,对我国OLED技术的产业化发展提出了简要的看法。