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MEMS电场传感器测试技术研究及进展
被引量:
2
1
作者
雷煜卿
焦飞
+1 位作者
张树华
彭国政
《高压电器》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期57-63,共7页
传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要。文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测试、测量标定等技术及发展现状,首先介绍MEMS电场传感器原理、结构设计和传感器件的制备工艺等特点。然...
传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要。文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测试、测量标定等技术及发展现状,首先介绍MEMS电场传感器原理、结构设计和传感器件的制备工艺等特点。然后重点阐述现阶段研制MEMS电场传感器的晶圆级测试内容与测试方法、器件级测试内容和测量标定系统。最后分析了国内外MEMS电场传感器测试技术的局限性和发展趋势。在此基础上指出随着国内MEMS电场传感器深入应用,MEMS传感器件测试技术将会迎来快速发展期。
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关键词
MEMS传感器
电场传感器
晶圆
级
测试
器件级测试
电场标定
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职称材料
题名
MEMS电场传感器测试技术研究及进展
被引量:
2
1
作者
雷煜卿
焦飞
张树华
彭国政
机构
中国电力科学研究院有限公司
出处
《高压电器》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期57-63,共7页
基金
中国电力科学研究院有限公司长线项目(AI83-20-006)。
文摘
传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要。文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测试、测量标定等技术及发展现状,首先介绍MEMS电场传感器原理、结构设计和传感器件的制备工艺等特点。然后重点阐述现阶段研制MEMS电场传感器的晶圆级测试内容与测试方法、器件级测试内容和测量标定系统。最后分析了国内外MEMS电场传感器测试技术的局限性和发展趋势。在此基础上指出随着国内MEMS电场传感器深入应用,MEMS传感器件测试技术将会迎来快速发展期。
关键词
MEMS传感器
电场传感器
晶圆
级
测试
器件级测试
电场标定
Keywords
MEMS sensor
electric field sensor
wafer level test
device level test
electric field calibration
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS电场传感器测试技术研究及进展
雷煜卿
焦飞
张树华
彭国政
《高压电器》
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
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