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题名基于单片机的四探针测试系统的研制
被引量:1
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作者
常涛
孙以材
潘国峰
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机构
河北工业大学微电子研究所
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出处
《传感器世界》
2009年第2期52-56,47,共6页
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文摘
利用改进的Rymaszewski法自动消除探针纵向游移影响的优点,将它应用于斜置式方形探针测试法中;在斜置式方形四探针机械平台的基础上,完成了整个测试电路的硬件设计和软件编程,研制出一台具有输出高精度高稳定性恒流源的斜置式方形探针分析仪。该系统是基于单片机的智能化控制系统,实现了10μA^1mA、步长为10μA的高精度数字控制恒流源,具有较高精度的电压测量电路,并能和上位机PC进行RS-232串口通讯。
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关键词
四探针测试技术
微区薄层电阻
改进Rymaszewski法
数控恒流源
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Keywords
four-point probe measurement technique
sheet resistance of micro-area
Rymaszewski method
numericalcontrol constant current source
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分类号
TP274.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP368.12
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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题名微区薄层电阻测试方法的研究
被引量:2
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作者
刘新福
孙以材
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机构
河北工业大学微电子技术与材料研究所
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出处
《河北工业大学学报》
CAS
2003年第3期15-18,共4页
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基金
国家自然科学基金(69272001)
河北省自然科学基金(602076)
天津市自然科学基金(013602011)
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文摘
对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。
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关键词
微区薄层电阻
改进范德堡法
四探针测试技术
Mapping技术
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Keywords
sheet resistance for microareas
modified van derpauw method
four probe technique
mapping technique
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分类号
TN304.07
[电子电信—物理电子学]
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