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题名一种MEMS硅微三维加速度计设计
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作者
刘林仙
张国军
许姣
张文栋
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机构
仪器科学与动态测试教育部重点实验室
电子测试技术重点实验室
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2013年第3期15-18,共4页
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基金
国家863计划(2011AA040404)
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文摘
在压阻式硅微二维加速度计的基础上,提出了一种MEMS硅微三维加速度计。该加速度计微结构包括由四梁-柱体组成的二维水平检测单元和双T型垂直检测单元两部分,通过双T型检测单元和微型柱体与四梁检测单元检测空间三维方向的加速度值。建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件Ansys对敏感弹性元件进行力学特性分析。最后对加工出的加速度计进行性能测试。测试结果表明,该加速度计3个方向频响曲线平坦、灵敏度高、线性度好,轴间耦合度小,X向灵敏度为2.17 mV/g,非线性度为0.63%,Y向灵敏度为2.08 mV/g,非线性度为0.75%,Z向灵敏度为1.66mV/g,非线性度为1.13%。
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关键词
三维加速度计
双T型
四梁-柱体
ANSYS
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Keywords
three-dimensional aceelerometer
double T-shaped
four beam.column
ANSYS
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分类号
TB565.1
[交通运输工程—水声工程]
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