白光干涉零光程差位置四步测量法及其精度分析

为研究现代干涉技术的应用,提出一种测量绝对长度和位移大小的白光干涉中零光程差位置测量方法.在测量中以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔,以四步测量法作为数据处理方法确定干涉条纹的局部调制度.采用重心法确定干涉条纹调制度的最大值位置,并以此作为零光程差位置.对光电测量系统中的机械精度与光电测量精度对测量结果的影响进行了定量计算.使用本方法,在1%的光强测量精度下可达到10nm的位置定位精度.