槽式湿法碱抛光技术在PERC太阳电池中的工艺研究

高效晶体硅太阳电池是光伏领域的热门研究之一,提高晶体硅太阳电池的转换效率是光伏研究者的重要研究方向。降低电池背面反射率是提高晶体硅电池转换效率的有效方法之一,实验采用激光掺杂制作选择性发射极,并利用槽式湿法碱抛光技术,去除发射极表面的重掺杂区,降低载流子在电池发射极表面区域的复合,提高载流子的有效寿命达到抛光效果,并最终提升电池转换效率。结果表明:硅片经过抛光处理后,减少了作为复合中心的悬挂键,降低了表面复合速率。发现了高反射率增强了光的反射,反射回电池内部的光被再吸收,提高了光的利用率。这是造成短路电流提升的主要原因。表面掺杂浓度的降低以及表面重掺杂区尺寸的减小将有效抑制载流子在发射极区域的俄歇复合,提高载流子的有效寿命。