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题名结构解耦四质量块微陀螺仪的设计与制备
被引量:3
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作者
李敏阳
张卫平
谷留涛
刘朝阳
田梦雅
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机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
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出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2020年第2期177-181,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(61574093)
预研基金项目(614280504010317,6140863020202)
+1 种基金
上海专业技术服务平台项目(19DZ2291103)
教育部新世纪优秀人才支撑计划项目(NCET-10-0583).
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文摘
提出了一种新型的结构解耦四质量块陀螺仪的结构设计以及制备方法。采用梳齿电极的设计和推挽法消除了静电驱动力的二倍频分量,并对折叠梁结构进行仿真分析和优化,有效地实现了对驱动和检测模态的结构解耦。针对陀螺仪的结构,设计了可行的工艺方案并进行实际加工,采用SOI和阳极键合工艺,最终制作出四质量块陀螺仪样品。仿真得到驱动和检测模态的谐振频率差为7Hz,表明其结构的高度对称性。谐响应分析下陀螺仪最大位移为1 290nm,驱动框架最大位移差为60.75nm,检测框架最大位移为305.24nm,取得了理想的解耦效果。
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关键词
结构解耦
四质量块
阳极键合
SOI
仿真分析
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Keywords
structure decoupling
quadruple mass
anode bonding
SOI
simulation analysis
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分类号
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名浅谈标准海堤四角预制块预制施工质量控制
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作者
胡政艺
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机构
中国水利水电第十二工程局有限公司
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出处
《城市建设(下旬)》
2011年第1期143-143,共1页
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文摘
围海工程近年来在东南沿海省市发展迅速,作为围海工程的主体,海堤起着至关重要的作用。四角预制块以其独特的“气质”在海堤防护工程过程中运用广泛。如何制作出质量过关、外形优美的四角预制块则十分讲究。
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关键词
围海过程
海堤
四角预制块质量控制
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分类号
TV523
[水利工程—水利水电工程]
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题名微谐振陀螺仪从半球到平面的演变
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作者
谷留涛
张卫平
崔峰
吴雨婷
范重阳
卢浩琳
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机构
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
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出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2022年第6期1011-1019,共9页
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文摘
微谐振陀螺仪是一种固体波动陀螺,常采用微纳制造工艺进行加工,具有小体积、高性能、低功耗、批量化等特点。自1975年世界上第一个半球谐振陀螺诞生以来,微谐振陀螺的谐振子拓扑结构经历了三维结构到二维结构的演变。文章以拓扑结构的发展脉络为主线,对微谐振陀螺的发展过程进行了梳理和总结,最后对目前存在的问题进行了分析,对未来的发展进行了展望。
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关键词
微谐振陀螺仪
微谐振器
半球陀螺仪
环形陀螺仪
四质量块陀螺仪
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Keywords
MEMS resonator gyroscope
MEMS resonator
hemisphere resonator gyroscope
ring resonator gyroscope
dual-mass resonator gyroscope
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名大型风电场机网扭振分析与抑制研究
被引量:1
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作者
徐祥平
张延迟
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机构
上海电机学院电气工程系
华东理工大学自动化系
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出处
《电力学报》
2014年第5期371-377,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50807036)
上海市教育委员会科研创新项目资助(10YZ217)~~
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文摘
风能作为可再生型和环境友好型能源,风力发电技术已经迅速在全世界范围内到了发展。随着风电的快速发展,大型风电场并网安全问题也越来越受到关注。主要针对由变速恒频风电机组组成的大型风电场,研究其并入在含有串联补偿线路的电网后,在严重电网故障情况下机网扭振情况。扭振现象对于风电机组的零部件和电网安全稳定运行构成严重的威胁。建立建立风力机的四质量块模型和感应发电机数学模型,采用等值机形式,构建了9 MW的大型风电场。首先验证了在三相短路故障情况下,大型并网风电场中存在机网扭振现象。然后,通过改进传统的串联补偿环节,提出了利用晶闸管控制的可控串联补偿装器(TCSC)对机网扭振进行抑制。利用Matlab软件仿真进行实时仿真,并且进行了频谱分析,结果验证了可控串联补偿器可以减少机网扭振。
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关键词
大型风电场
四质量块模型
机网扭振
可控制串联补偿器
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Keywords
large-scale wind farm
four-mass model
torsional vibration
thyristor controlled series capacitors
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分类号
TM315
[电气工程—电机]
TM712
[电气工程—电力系统及自动化]
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