基于电极绝缘的四轴静电支承系统的位移测量

为了提高静电支承系统的可靠性,对设计的压控型四轴斜交静电支承系统的电极进行了绝缘化处理,但是电极的绝缘处理影响了支承系统的位移测量。针对这一问题,分析了四轴位移测量的原理并给出了保证转子测量地电位的方法,研究了电极绝缘对间隙电容以及位移测量的影响,通过引入增强因子量化了这一影响并对绝缘条件下的位移测量重新建模。测量实验表明设计的位移测量电路的测量精度优于0.2μm,在电极绝缘的条件下可以实现对转子位移的测量。