团簇粒子源及其应用

介绍了蒸发、溅射产生团簇的原理以及通过调节参数得到不同大小的团簇材料 ,阐述了团簇的基本结构和性质 ,并介绍了团簇在镀膜及功能膜如光学膜磁性膜方面的应用。