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协同共振型薄膜体声波谐振器研究
1
作者
张亚非
刘一剑
+3 位作者
李忠丽
张耀中
苏言杰
刘刚
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期1242-1248,共7页
随着通信行业和微电子技术的快速发展,以及第5代移动通信技术(5G)的发展趋势越来越明晰,对高频段的微型化射频滤波器的性能提出了更高的要求.生产基于体声波谐振器的滤波器成为最具有应用前景的技术.基于大量研究,总结了固体装配型的体...
随着通信行业和微电子技术的快速发展,以及第5代移动通信技术(5G)的发展趋势越来越明晰,对高频段的微型化射频滤波器的性能提出了更高的要求.生产基于体声波谐振器的滤波器成为最具有应用前景的技术.基于大量研究,总结了固体装配型的体声波谐振器(Solidly Mounted Bulk Acoustic Resonator,SMR)的制备优化技术,在压电薄膜粗糙度优化的技术基础上,提出了AlN-ZnO协同共振型SMR器件,解决了氧化锌薄膜压电性能不佳、c轴择优取向较弱的问题,制备了相应的AlN-ZnO协同共振型SMR,取得了较好的器件性能参数.串联谐振点品质因数Qs为616.2,并联谐振点品质因数Qp为429.4,机电耦合系数k2eff为2.27%.为SMR的制备和量产提供了一个创新的方案.
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关键词
固体
装配型薄膜体
声波
谐振器(SMR)
氧化锌薄膜
AlN-ZnO协同共振层
掺杂技术
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职称材料
建筑结构的杨氏模量的声学测量方法
被引量:
1
2
作者
黄险峰
《电声技术》
北大核心
2003年第5期7-9,共3页
文中采用塑料锤敲击建筑构件,激发固体声波,进行纵向声波波速的现场测量,由此确定已完工的建筑构件的杨氏模量。该实验方法可以在不损建筑结构和表面装饰的情况下,进行现场实测,而且具有精度高、简便的特点。
关键词
建筑构件
杨氏模量
声学测量
固体声波
波速测量
纵向
声波
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职称材料
钢弹簧减振器高频失效浅析
3
作者
嵇正毓
《四川环境》
2016年第5期95-97,共3页
外力作用在固体上将使其产生整体加速运动和局部的弹性形变,如果固体的线度大于该固体中声波的半波长时,弹性形变就会在固体中形成声波。所以当钢弹簧隔振器的展开长度大于弹簧钢中声波的半波长时,钢弹簧中也会形成固体声波,高于该固体...
外力作用在固体上将使其产生整体加速运动和局部的弹性形变,如果固体的线度大于该固体中声波的半波长时,弹性形变就会在固体中形成声波。所以当钢弹簧隔振器的展开长度大于弹簧钢中声波的半波长时,钢弹簧中也会形成固体声波,高于该固体声波频率的振动能量就会沿弹簧中传播,使钢弹簧隔绝高频振动失效,产生所谓的"穿流"现象。
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关键词
钢弹簧隔振器
固体声波
高频失效
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职称材料
传声筒
4
《东方少年(阅读与作文)》
2018年第1期64-64,共1页
知识点讲解传声筒:声音需要空气等介质才能传递出去。声音在固体中传播的速度是最快的。传声筒就是利用固体声波振动传递原理,当声源在传声筒的一端发生震荡时,纸杯的物理结构能有效地将声音聚集并且减少声音的扩散,经过中间的绳子传进...
知识点讲解传声筒:声音需要空气等介质才能传递出去。声音在固体中传播的速度是最快的。传声筒就是利用固体声波振动传递原理,当声源在传声筒的一端发生震荡时,纸杯的物理结构能有效地将声音聚集并且减少声音的扩散,经过中间的绳子传进另一端的纸杯中。两个人各拿一个话筒,拉直绳子,就可以通话了,距离在一百米范围内皆可有效。
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关键词
固体声波
物理结构
知识点
原文传递
题名
协同共振型薄膜体声波谐振器研究
1
作者
张亚非
刘一剑
李忠丽
张耀中
苏言杰
刘刚
机构
上海交通大学微纳电子学系
上海卫星装备研究所
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期1242-1248,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61574091)
文摘
随着通信行业和微电子技术的快速发展,以及第5代移动通信技术(5G)的发展趋势越来越明晰,对高频段的微型化射频滤波器的性能提出了更高的要求.生产基于体声波谐振器的滤波器成为最具有应用前景的技术.基于大量研究,总结了固体装配型的体声波谐振器(Solidly Mounted Bulk Acoustic Resonator,SMR)的制备优化技术,在压电薄膜粗糙度优化的技术基础上,提出了AlN-ZnO协同共振型SMR器件,解决了氧化锌薄膜压电性能不佳、c轴择优取向较弱的问题,制备了相应的AlN-ZnO协同共振型SMR,取得了较好的器件性能参数.串联谐振点品质因数Qs为616.2,并联谐振点品质因数Qp为429.4,机电耦合系数k2eff为2.27%.为SMR的制备和量产提供了一个创新的方案.
关键词
固体
装配型薄膜体
声波
谐振器(SMR)
氧化锌薄膜
AlN-ZnO协同共振层
掺杂技术
Keywords
solidly mounted bulk acoustic resonator(SMR)
ZnO doped piezoelectric film
AlN-ZnO co-resonating layer
buffer layer
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
建筑结构的杨氏模量的声学测量方法
被引量:
1
2
作者
黄险峰
机构
华南理工大学建筑学系
出处
《电声技术》
北大核心
2003年第5期7-9,共3页
文摘
文中采用塑料锤敲击建筑构件,激发固体声波,进行纵向声波波速的现场测量,由此确定已完工的建筑构件的杨氏模量。该实验方法可以在不损建筑结构和表面装饰的情况下,进行现场实测,而且具有精度高、简便的特点。
关键词
建筑构件
杨氏模量
声学测量
固体声波
波速测量
纵向
声波
Keywords
longitudinal wave
Young's modulus
plastic hammer
分类号
O422.1 [理学—声学]
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职称材料
题名
钢弹簧减振器高频失效浅析
3
作者
嵇正毓
机构
南京源恒环境研究所有限公司
出处
《四川环境》
2016年第5期95-97,共3页
文摘
外力作用在固体上将使其产生整体加速运动和局部的弹性形变,如果固体的线度大于该固体中声波的半波长时,弹性形变就会在固体中形成声波。所以当钢弹簧隔振器的展开长度大于弹簧钢中声波的半波长时,钢弹簧中也会形成固体声波,高于该固体声波频率的振动能量就会沿弹簧中传播,使钢弹簧隔绝高频振动失效,产生所谓的"穿流"现象。
关键词
钢弹簧隔振器
固体声波
高频失效
Keywords
Steel spring vibration isolator
solid sound wave
high frequency failure
分类号
X707 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
传声筒
4
出处
《东方少年(阅读与作文)》
2018年第1期64-64,共1页
文摘
知识点讲解传声筒:声音需要空气等介质才能传递出去。声音在固体中传播的速度是最快的。传声筒就是利用固体声波振动传递原理,当声源在传声筒的一端发生震荡时,纸杯的物理结构能有效地将声音聚集并且减少声音的扩散,经过中间的绳子传进另一端的纸杯中。两个人各拿一个话筒,拉直绳子,就可以通话了,距离在一百米范围内皆可有效。
关键词
固体声波
物理结构
知识点
分类号
G624.2 [文化科学—教育学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
协同共振型薄膜体声波谐振器研究
张亚非
刘一剑
李忠丽
张耀中
苏言杰
刘刚
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
下载PDF
职称材料
2
建筑结构的杨氏模量的声学测量方法
黄险峰
《电声技术》
北大核心
2003
1
下载PDF
职称材料
3
钢弹簧减振器高频失效浅析
嵇正毓
《四川环境》
2016
0
下载PDF
职称材料
4
传声筒
《东方少年(阅读与作文)》
2018
0
原文传递
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