用于全方位离子注入的10kV固体脉冲调制器研制

采用IGBT串联技术研制成功了用于全方位离子注入的10 kV固体脉冲调制器。试验表明:该固体脉冲调制器在纯阻性负载时最高输出电压为14 kV,最高输出脉冲电流为20 A,输出脉冲宽度可在2 ms和112 ms之间以1 ms步长变化、脉冲重复频率范围为1 Hz^4 kHz,短时间可以工作到8.6 kHz。但在等离子体负载时,由于输入电容的影响,下降时间比较长。

文辑摘要

《电镀与环保》2003年第5期主要文章摘要 化学镀铜在微电子领域中的应用及展望 简述了化学镀铜技术的原理和化学镀铜在印刷电路板(PCB)中通孔金属化、内层铜箔处理、电子封装技术和电磁波封闭中的应用现状和生产过程,并对化学镀铜在微电子领域中的发展进行了展望。