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固体薄膜材料裂纹分形结构维数计算中的不确定性研究 被引量:3
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作者 杨国伟 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 1998年第1期63-65,共3页
讨论了固体薄膜材料裂纹分形研究中出现的一类分维不确定性问题,指出实际分形体的近似分形结构是其产生的根本原因,并在数学上给予了证明,材料断裂行为中的多度域似分形结构维数测量、计算中也存在分维不确定性问题,文中也进行了讨论。
关键词 分形 不确定性 固体薄膜材料 裂纹 维数
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FCVAD合成Ta-C(N)薄膜及其Raman和XPS分析 被引量:3
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作者 王广甫 张荟星 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期535-539,共5页
掺N非晶金刚石Ta-C(N)薄膜是合成β-C3N4研究中出现的一种新型固体薄膜材料,近年来由于其优异的电化学性能受到越来越多的关注。我们用磁过滤阴极真空弧等离子体沉积(FCVAD)方法在不同N2分压下,在Si衬底上合成了Ta-C(N)薄膜。Raman和XP... 掺N非晶金刚石Ta-C(N)薄膜是合成β-C3N4研究中出现的一种新型固体薄膜材料,近年来由于其优异的电化学性能受到越来越多的关注。我们用磁过滤阴极真空弧等离子体沉积(FCVAD)方法在不同N2分压下,在Si衬底上合成了Ta-C(N)薄膜。Raman和XPS分析表明Ta-C:N薄膜中的N主要以C—N的方式与C结合。N2分压越大,N/C原子比越高,最高可达31.1%。但同时sp3键含量越低,并且合成Ta-C:N薄膜的速度越慢。 展开更多
关键词 磁过滤阴极真空弧沉积 掺杂 固体薄膜材料 钽-碳薄膜 氮原子 X射线分析 RAMAN光谱分析
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