铟封接和硅硅键合技术制作微通道型固定流导元件

提出了一种制作微通道型固定流导元件的方法,即基于硅硅直接键合将刻蚀深度约为1pim的沟槽结构密封成微通道,利用钢熔融封接技术使其与金属法兰结合构成通道型固定流导组件,使用氮质谱检漏仪对其漏率测试。测量结果表明,固定流导元件的流导测量值与理论计算值接近,相对误差不超过22.2%。氮气作为测量气体时,固定流导元件能够从高真空到30000Pa压强下实现分子流状态,即流导恒定。

基于动态差压法的分子流流导测量

提出一种基于动态差压法测量固定流导元件流导的新方法。固定流导元件是以阳极多孔氧化铝(AAO)为模板制作而成。在测量流导过程中,通过测量连接AAO固定流导元件两端的容器的动态差压变化关系,运用最小二乘法对实验数据进行指数函数拟合,计算出AAO固定流导元件的流导值。分别以氮气、氦气和氩气作为实验气体对AAO固定流导元件的流导进行了测量。结果表明,在大气压力以下,AAO固定流导元件的流导不随入口压力变化而变化,始终保持恒定。对He、起始压力为30 kPa、初始压差为1.97 kPa、测量时间为60 s的测试点进行了不确定度评定,其相对合成标准不确定度为13%。对评定过程进行分析,发现测量点的不确定度随测量时间的增加急剧增大。该流导测量装置的测量范围为1×10^-4~1×10^-7 m3/s,此方法具有操作简便、结果精确等优点。