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埋氧层固定界面电荷对RESURF SOI功率器件击穿特性的影响
被引量:
3
1
作者
郭宇锋
李琦
+3 位作者
罗小蓉
杨寿国
李肇基
张波
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期181-184,共4页
通过求解具有界面电荷边界条件的二维泊松方程,建立了埋氧层固定界面电荷Qf对RESURFSOI功率器件二维电场和电势分布影响的解析模型。解析结果与半导体器件模拟器MEDICI数值分析结果相吻合。在此基础上,分别研究了Qf对RESURFSOI功率器...
通过求解具有界面电荷边界条件的二维泊松方程,建立了埋氧层固定界面电荷Qf对RESURFSOI功率器件二维电场和电势分布影响的解析模型。解析结果与半导体器件模拟器MEDICI数值分析结果相吻合。在此基础上,分别研究了Qf对RESURFSOI功率器件横向和纵向击穿特性的影响规律。在横向,讨论了不同硅膜厚度、氧层厚度和漂移区长度情况下Qf对表面电场分布的影响;在纵向,通过分析硅膜内的场和势的分布,提出了临界埋氧层固定界面电荷密度的概念,这是导致器件发生失效的最低界面电荷密度。
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关键词
埋氧层
固定界面电荷
RESURF
SOI
功率器件
击穿
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职称材料
利用界面固定负电荷在MIP-Al_xGa_(1-x)As中构造感应势的理论计算及其太阳电池的实验研究
2
作者
袁海荣
陈庭金
+1 位作者
涂洁磊
王履芳
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期104-110,共7页
介绍利用界面固定负电荷在MIP-AlxGa1-xAs中产生的感应势,并用于提高Al1-xGaxAs/GaAs太阳电池光电转换效率的构想。提出了分段计算求解泊松方程的数值计算方法。报道了利用分段数值计算,得到不同界面固定负电荷密度下,在不同掺杂浓度的...
介绍利用界面固定负电荷在MIP-AlxGa1-xAs中产生的感应势,并用于提高Al1-xGaxAs/GaAs太阳电池光电转换效率的构想。提出了分段计算求解泊松方程的数值计算方法。报道了利用分段数值计算,得到不同界面固定负电荷密度下,在不同掺杂浓度的半导体P-AlxCa1-xA5中界面附近的价带曲线Ev(x),以及Ev(0)值,空穴积累区宽度w值和表面空穴浓度p(0)值。文中还报道了基于这种思想所研制太阳电池的实验结果。
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关键词
ALGAAS
界面
固定
电荷
势垒
泊松方程
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职称材料
题名
埋氧层固定界面电荷对RESURF SOI功率器件击穿特性的影响
被引量:
3
1
作者
郭宇锋
李琦
罗小蓉
杨寿国
李肇基
张波
机构
电子科技大学IC设计中心
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期181-184,共4页
基金
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(51439020103DZ0201)
文摘
通过求解具有界面电荷边界条件的二维泊松方程,建立了埋氧层固定界面电荷Qf对RESURFSOI功率器件二维电场和电势分布影响的解析模型。解析结果与半导体器件模拟器MEDICI数值分析结果相吻合。在此基础上,分别研究了Qf对RESURFSOI功率器件横向和纵向击穿特性的影响规律。在横向,讨论了不同硅膜厚度、氧层厚度和漂移区长度情况下Qf对表面电场分布的影响;在纵向,通过分析硅膜内的场和势的分布,提出了临界埋氧层固定界面电荷密度的概念,这是导致器件发生失效的最低界面电荷密度。
关键词
埋氧层
固定界面电荷
RESURF
SOI
功率器件
击穿
Keywords
RESURF
SOI
Power device
Fixed interface charge
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
利用界面固定负电荷在MIP-Al_xGa_(1-x)As中构造感应势的理论计算及其太阳电池的实验研究
2
作者
袁海荣
陈庭金
涂洁磊
王履芳
机构
云南师范大学太阳能研究所
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期104-110,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(59966002)
文摘
介绍利用界面固定负电荷在MIP-AlxGa1-xAs中产生的感应势,并用于提高Al1-xGaxAs/GaAs太阳电池光电转换效率的构想。提出了分段计算求解泊松方程的数值计算方法。报道了利用分段数值计算,得到不同界面固定负电荷密度下,在不同掺杂浓度的半导体P-AlxCa1-xA5中界面附近的价带曲线Ev(x),以及Ev(0)值,空穴积累区宽度w值和表面空穴浓度p(0)值。文中还报道了基于这种思想所研制太阳电池的实验结果。
关键词
ALGAAS
界面
固定
电荷
势垒
泊松方程
Keywords
AlGaAs
fixed charge at interface
barrier
poisson equation
分类号
TK511.4 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
埋氧层固定界面电荷对RESURF SOI功率器件击穿特性的影响
郭宇锋
李琦
罗小蓉
杨寿国
李肇基
张波
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
下载PDF
职称材料
2
利用界面固定负电荷在MIP-Al_xGa_(1-x)As中构造感应势的理论计算及其太阳电池的实验研究
袁海荣
陈庭金
涂洁磊
王履芳
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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职称材料
已选择
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