MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计

讨论了微机电固态引信核心子系统 (即微传感器系统 )的设计和分析 ,并针对典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 。

MEMS固态引信谐振器的系统级设计与仿真

多端口组件网络方法可以实现MEMS器件系统级的快速设计与仿真。本文利用该方法,在SABER仿真平台上搭建了MEMS固态引信谐振器的系统级行为模型,并进行了小信号频域仿真、时域仿真以及灵敏度仿真,其结果接近于有限元分析结果。表明采用多端口组件网络方法进行MEMS器件的设计,可以满足设计要求,保证精度,提高设计效率。

MEMS固态引信核心子系统的设计

讨论了微机电固态引信核心子系统 (即微传感器系统 )的硅微结构设计和分析 ,并针对典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。

微机电引信发展模式探讨

引信是一个相当复杂的机电系统，ＭＥＭＳ技术对未来引信的发展将带来哪些影响是一个值得认真探讨的问题．针对引信的信息、结构特点，应用ＭＥＭＳ技术，微机电引信的发展可能在三个层次上改变未来引信的面貌：（１）部件级，可制作固态安全系统；（２）产品级，导致固态引信的发展；（３）系统级，实现制导－引信一体化．

微引信谐振器的系统级建模与仿真

为了实现微引信谐振器系统级行为模型的快速设计与仿真,利用多端口组件网络方法,在SABER仿真平台上搭建了其系统级行为模型,并进行了一系列仿真分析,包括小信号频域仿真、时域仿真、以及灵敏度仿真,其结果接近于有限元分析结果。仿真结果表明,采用多端口组件网络方法所设计的微引信谐振器,可以满足抗高过载的要求,能够保证设计精度,提高设计效率。