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固溶体技术用于AlN-SiC微波衰减材料改性 被引量:4
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作者 步文博 丘泰 +2 位作者 徐洁 李晓云 沈春英 《南京工业大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第3期10-14,共5页
结合AlN SiC二元系相图的理论分析 ,提出了利用固溶体技术实现AlN SiC微波衰减材料性能优化的研究思路 ;采用热压烧结工艺 ,通过合理的烧结温度及保温时间的控制 ,制备了性能优异的AlN SiC微波衰减材料。通过XRD、SEM、网络分析仪等测... 结合AlN SiC二元系相图的理论分析 ,提出了利用固溶体技术实现AlN SiC微波衰减材料性能优化的研究思路 ;采用热压烧结工艺 ,通过合理的烧结温度及保温时间的控制 ,制备了性能优异的AlN SiC微波衰减材料。通过XRD、SEM、网络分析仪等测试手段 ,研究了材料的显微结构 (晶粒尺寸和晶粒形状等 )对材料微波衰减性能的影响 ,结果表明 ,AlN SiC局部固溶体具有广频衰减特性 ,而AlN SiC均质固溶体具有选频衰减特性 ;并初步探讨了AlN 展开更多
关键词 ALN SIC 微波衰减 固溶体技术 半导体器件 优化改性 碳化硅 氮化铝 复相陶瓷
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