国产集成电路装备验证线标准体系研究与设计

本文针对国内开展集成电路装备验证线技术研究、项目试点“靶场”建设等实际需求,详细分析了集成电路装备验证线的组成结构及其标准体系架构。依据国内外相关标准体系建设的现状,设计了涵盖通用基础、研制生产、产品、检测及评价等4个方面的技术标准体系,并针对每个方面进行深入剖析,提出部分标准的技术框架。本标准体系设计填补了国内尚无8英寸装备验证线标准体系的空白,可为国产装备验证评估提供依据与参考。

国产超大规模集成电路测试系统综合试验验证方法

为全面验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标和性能,提出测试系统的一种综合试验验证方法,根据测试系统不同的验证阶段,分别从系统仪器技术指标测试试验验证、系统软硬件功能测试试验验证和系统集成电路测试能力试验验证3个阶段开展综合试验,并针对各阶段的验证方法开展测试系统的试验验证实例分析,验证实例结果表明该综合试验验证方法能够全方位验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标、功能性能以及测试能力,进一步验证所述方法的可行性;该验证方法能够有效解决集成电路测试系统投入测试应用前的试验验证问题,也为新研集成电路测试系统的指标与功能性能验证提供一种有效的综合验证思路。