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题名国产集成电路装备验证线标准体系研究与设计
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作者
张冰
罗超
禹庆荣
菅端端
赵梦晗
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机构
中国电子科技集团公司电子科学研究院
中国电子科技集团公司第四十八研究所
工业与信息化部电子第四研究院
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出处
《中国标准化》
2023年第10期93-99,共7页
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文摘
本文针对国内开展集成电路装备验证线技术研究、项目试点“靶场”建设等实际需求,详细分析了集成电路装备验证线的组成结构及其标准体系架构。依据国内外相关标准体系建设的现状,设计了涵盖通用基础、研制生产、产品、检测及评价等4个方面的技术标准体系,并针对每个方面进行深入剖析,提出部分标准的技术框架。本标准体系设计填补了国内尚无8英寸装备验证线标准体系的空白,可为国产装备验证评估提供依据与参考。
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关键词
装备验证线
标准体系
国产集成电路
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Keywords
equipment verification line
standards system
domestic integrated circuit
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分类号
F42
[经济管理—产业经济]
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题名国产超大规模集成电路测试系统综合试验验证方法
被引量:1
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作者
闫丽琴
冯建呈
王占选
殷晔
刘莹
李小龙
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机构
北京航天测控技术有限公司
北京微电子技术研究所
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出处
《计算机测量与控制》
2022年第8期277-282,共6页
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文摘
为全面验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标和性能,提出测试系统的一种综合试验验证方法,根据测试系统不同的验证阶段,分别从系统仪器技术指标测试试验验证、系统软硬件功能测试试验验证和系统集成电路测试能力试验验证3个阶段开展综合试验,并针对各阶段的验证方法开展测试系统的试验验证实例分析,验证实例结果表明该综合试验验证方法能够全方位验证国产超大规模集成电路测试系统的工作指标、功能性能以及测试能力,进一步验证所述方法的可行性;该验证方法能够有效解决集成电路测试系统投入测试应用前的试验验证问题,也为新研集成电路测试系统的指标与功能性能验证提供一种有效的综合验证思路。
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关键词
国产超大规模集成电路测试系统
综合试验验证方法
技术指标测试
软硬件功能测试
测试能力试验验证
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Keywords
domestic VLSI test system
technical index test
functional test of hardware and software
test capability verification
comprehensive test and verification method
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分类号
TP27
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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