GEM标准在CMP系统上的应用

以当代最先进的自动化工厂(FA)走势为依据,结合化学机械抛光(CMP)系统的实际应用需求,提出了解决工业自动化通信协议SECS\GEM的应用问题。叙述了GEM的通信状态、控制状态和实现GEM的设计思路,并举例说明了GEM中的消息配方。实践表明,我国自动化设备领域对GEM的需求是非常迫切的。