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X射线掩模电子束制备图形过程中的数值研究 被引量:1
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作者 王永坤 余建祖 《微细加工技术》 EI 2005年第2期20-23,50,共5页
得到移动光源照射下平板温度分布的理论解,验证了有限元方法的正确性。建立了X射线掩模电子束制备图形过程中传热的三维有限元模型,给出了掩模瞬态温度变化规律。结果表明,辐射是X射线掩模在图形制备中必须考虑的重要因素之一,当不考虑... 得到移动光源照射下平板温度分布的理论解,验证了有限元方法的正确性。建立了X射线掩模电子束制备图形过程中传热的三维有限元模型,给出了掩模瞬态温度变化规律。结果表明,辐射是X射线掩模在图形制备中必须考虑的重要因素之一,当不考虑辐射时,掩模瞬时最高温度随时间振荡升高,最高温度为35.20℃;当考虑辐射时,掩模瞬时最高温度随时间周期变化,最高温度为26.95℃。 展开更多
关键词 掩模 电子束书写 温度分布 图形制备 有限元分析
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激光直写光刻工艺技术研究 被引量:2
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作者 邱传凯 杜春雷 侯德胜 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期37-41,46,共6页
研究了利用激光直写技术制作微细图形的工艺方法,应用ISI-2802型激光直写系统,通过实验,分析了激光曝光机理以及提高实用分辨力的途径。得到了激光直写系统参数与处理工艺参数之间的匹配关系,实验数据对研究制作各种掩模版... 研究了利用激光直写技术制作微细图形的工艺方法,应用ISI-2802型激光直写系统,通过实验,分析了激光曝光机理以及提高实用分辨力的途径。得到了激光直写系统参数与处理工艺参数之间的匹配关系,实验数据对研究制作各种掩模版、衍射光学元件以及ASIC电路都有应用价值。 展开更多
关键词 激光直写 光刻工艺 激光光刻机 图形制备 曝光
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电子束直写中X射线光刻掩模的热形变研究
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作者 尚鸿雁 王永坤 《微细加工技术》 2007年第5期10-13,25,共5页
对X射线掩模电子束制备图形过程建立三维有限元模型,提出用热流密度等效法简化瞬态热应力计算,得到了X射线掩模在电子束直写过程中的瞬态热形变。结果表明,掩模面内形变在直写过程中出现振荡变化,最大值为8.24 nm,方向背离电子束光照中... 对X射线掩模电子束制备图形过程建立三维有限元模型,提出用热流密度等效法简化瞬态热应力计算,得到了X射线掩模在电子束直写过程中的瞬态热形变。结果表明,掩模面内形变在直写过程中出现振荡变化,最大值为8.24 nm,方向背离电子束光照中心,掩模面外形变最大值为9.75μm,方向沿图形窗口法线方向,并出现在电子束束斑中心。 展开更多
关键词 面内形变 面外形变 电子束直写 图形制备 有限元分析
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聚焦离子束(FIB)直写技术研究 被引量:1
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作者 金乾进 柴青 《传感器世界》 2017年第3期12-15,共4页
简单介绍了聚焦离子束的工作原理,以及在微电子行业中的应用。具体讨论了聚焦离子束在制备纳米图形中的影响因素,包括不同的加工参数,如离子束电能量、离子束电流、驻留时间,以及不同的制备方法产生的各效应,包括再沉积、结构干涉再沉积... 简单介绍了聚焦离子束的工作原理,以及在微电子行业中的应用。具体讨论了聚焦离子束在制备纳米图形中的影响因素,包括不同的加工参数,如离子束电能量、离子束电流、驻留时间,以及不同的制备方法产生的各效应,包括再沉积、结构干涉再沉积,对结构形貌的影响,从而确定各参数在纳米图形制备过程中的应用。实验结果表明,离子束能量改变了入射离子去除材料的能力、离子束电流改变了制备图形(线、方)结构的深宽比,驻留时间的变化增加了刻蚀结构中再沉积效应。 展开更多
关键词 聚焦离子束 纳米图形制备 加工参数 结构
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电子表格:新版本比较
5
作者 柴振荣 《管理观察》 1996年第3期37-37,共1页
介绍下列3种电子表格的试验过程与结果:MicrosoftExcelRelcase4;QuattroProforWindowsWorkGroupEditionRelease5;Lotus1-2-3Release4,Lotus1-2-3Release4俄罗斯乙版。列举了上述产品的历史资料和价格(分别为155、116、99美元)... 介绍下列3种电子表格的试验过程与结果:MicrosoftExcelRelcase4;QuattroProforWindowsWorkGroupEditionRelease5;Lotus1-2-3Release4,Lotus1-2-3Release4俄罗斯乙版。列举了上述产品的历史资料和价格(分别为155、116、99美元)。从表格结构和尺度控制可能性来看,每种表格各有所长,也有所短。在解决数据分析的问题上,依靠D:ttaM0delingExcel和Lotus所具备的各方面数据运算能力,QuattroPro进展最快,而且在图形制备上具有很大的潜能。Quattro刀ro却没有类似的可能性。按照图表类型的数量,QuattroPro与Excel领先。但Lotus1-2-3拥有更丰富的图形编辑手段。在组合问题上,QuattroPro无可争议地居首位,它拥有8种图幅。几种程序包均有良好的自学手段。在所使用的用户环境质量和方便方面,3种程序包的可能性相同。不过在总体上讲,从大部分优质完成可能的应用功能来看,第1的位置应归于QuattroPro。 展开更多
关键词 电子表格 新版本 RELEASE MicrosoftExcel 程序包 图形编辑 图形制备 表格结构 数据分析 尺度控制
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Template-directed fabrication of 3D graphene-based composite and their electrochemical energy-related applications 被引量:8
6
作者 Hua-Jun Qiu Li Liu Yu Wang 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期443-450,共8页
Graphene shows great potentials in electrochemical energy-related areas.To enhance its properties and corresponding electrochemical performance,recently,three-dimensional(3D)graphene-based materials especially monolit... Graphene shows great potentials in electrochemical energy-related areas.To enhance its properties and corresponding electrochemical performance,recently,three-dimensional(3D)graphene-based materials especially monolithic porous graphene with encapsulated functional nanomaterials have arisen much research interest for electrochemical catalysis,lithium ion batteries(LIBs),lithium–sulfur batteries,supercapacitors,etc.With the enhanced structure properties such as interconnected graphene network,high volume-specific surface area and electronic conductivity,3D monolithic graphene is more suitable for the fabrication of composite electrode materials in real devices.In this article,we discuss recent development in fabricating monolithic 3D graphene and their composites using template-directed methods and their applications in electrochemical energy-related areas. 展开更多
关键词 Nanoporous graphene Templatedirected synthesis COMPOSITE ELECTROCATALYSIS Lithium ion batteries
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Hot deformation behaviour and processing maps of AA6061-10 vol. % SiC composite prepared by spark plasma sintering 被引量:1
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作者 LI XiaoPu LIU ChongYu +2 位作者 SUN XiaoWei MA MingZhen LIU RiPing 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期980-988,共9页
AA6061-10 vol.% SiC composite was successfully prepared by spark plasma sintering. The deformation behaviour of this composite was studied using the uniaxial compression test, which was conducted at temperatures betwe... AA6061-10 vol.% SiC composite was successfully prepared by spark plasma sintering. The deformation behaviour of this composite was studied using the uniaxial compression test, which was conducted at temperatures between 300 and 500℃ and strain rates between 0.001 and 1 s^-1. Results indicate that the stress-strain curves of the AA6061-10 vol.% SiC composite typically feature dynamic recrystallization. The steady stress can be described by a hyperbolic sine constitutive equation, and the activation energy of the composite is 230.88 kJ/mol. The processing map was established according to the dynamic materials model. The optimum hot deformation temperature is 450-500℃ and the strain rate is 1-0.1 s^-1. The instability zones of flow behaviour can also be identified using the processing map. 展开更多
关键词 AI matrix composite hot deformation processing map stress-strain curves spark plasma sintering
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