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金属表面TiO_2薄膜的溶胶-凝胶法制备及其血液相容性研究 被引量:21
1
作者 刘敬肖 杨大智 +6 位作者 史非 蔡英骥 陈吉华 王伟强 孔力 胡军 杨佩满 《中国生物医学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期398-403,共6页
通过溶胶 凝胶法制备TiO2 薄膜对 316L不锈钢和NiTi形状记忆合金进行表面改性处理。研究发现 ,经 5 0 0℃处理 1h的薄膜结构致密 ,膜层均匀平滑 ,薄膜主要由锐钛矿相TiO2 构成 ,随热处理温度的提高 ,锐钛矿相逐渐转变为金红石相。电化... 通过溶胶 凝胶法制备TiO2 薄膜对 316L不锈钢和NiTi形状记忆合金进行表面改性处理。研究发现 ,经 5 0 0℃处理 1h的薄膜结构致密 ,膜层均匀平滑 ,薄膜主要由锐钛矿相TiO2 构成 ,随热处理温度的提高 ,锐钛矿相逐渐转变为金红石相。电化学腐蚀和动态凝血时间及溶血率测试表明 ,通过溶胶 凝胶法制备TiO2 膜进行表面改性的 316L不锈钢和NiTi合金的抗模拟体液腐蚀性提高 ,动态凝血时间延长 ,溶血率下降 ,说明溶胶 凝胶法制备TiO2 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 tio2薄膜 表面改性 抗腐蚀性 血液相容性
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染料在纳米TiO_2薄膜表面吸附性能的研究 被引量:18
2
作者 胡智学 戴松元 +1 位作者 王孔嘉 徐轶达 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期277-279,共3页
采用溶胶 凝胶法制备纳米TiO2 薄膜 ,并通过吸附染料形成染料 TiO2 复合薄膜。分析了染料与TiO2 薄膜的相互关系 ,利用紫外可见、比表面等技术研究染料在纳米TiO2 薄膜表面的吸附性能 ,并计算出TiO2 薄膜对染料的最大吸附率。研究表明 ... 采用溶胶 凝胶法制备纳米TiO2 薄膜 ,并通过吸附染料形成染料 TiO2 复合薄膜。分析了染料与TiO2 薄膜的相互关系 ,利用紫外可见、比表面等技术研究染料在纳米TiO2 薄膜表面的吸附性能 ,并计算出TiO2 薄膜对染料的最大吸附率。研究表明 ,染料溶液浓度、温度以及TiO2 薄膜浸泡时间对染料吸附量有着显著的影响 ,染料的吸附性能直接影响着太阳能电池的光电转换效率。 展开更多
关键词 纳米tio2薄膜 表面吸附性能 染料 敏化 二氧化钛 太阳能电池 光电转换效率 复合薄膜
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离子束合成TiO_2薄膜对医用NiTi合金表面的改性 被引量:19
3
作者 刘敬肖 杨大智 +2 位作者 徐久军 陈吉华 蔡英骥 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期445-450,共6页
采用离子束增强沉积法制备TiO2薄膜,对医用NiTi合金进行表面改性处理.系统研究了薄膜的表面组成、结构、形貌及耐蚀性、亲水性等与血液相容性相关的表面性质.NiTi合金表面沉积TiO2薄膜后、抗模拟体液的腐蚀性提高,... 采用离子束增强沉积法制备TiO2薄膜,对医用NiTi合金进行表面改性处理.系统研究了薄膜的表面组成、结构、形貌及耐蚀性、亲水性等与血液相容性相关的表面性质.NiTi合金表面沉积TiO2薄膜后、抗模拟体液的腐蚀性提高,凝血时间延长.为进一步提高TiO2薄膜的抗凝血性,对TiO2薄膜的进一步表面改性-表面结合肝素分子进行了初步尝试,结果表明,薄膜表面组成发生变化,表面亲水性进一步提高。 展开更多
关键词 NITI合金 tio2薄膜 表面性质 表面改性 血管内支架 材料 离子束增强沉积法 镍钛合金 二氧化钛 经皮穿刺介入冠状动脉成形术
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316L不锈钢表面液相沉积TiO_2薄膜的耐蚀性研究 被引量:13
4
作者 刘成龙 杨大智 赵红 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期600-602,共3页
 采用液相沉积法在316L不锈钢表面制备TiO2薄膜。运用电化学方法对不同时间和不同热处理温度下制备的薄膜在Tyrode′s模拟体液中的腐蚀行为进行了研究。结果表明,随沉积时间的增加,膜层增厚,抗腐蚀性能增强,而且热处理后薄膜的性能更...  采用液相沉积法在316L不锈钢表面制备TiO2薄膜。运用电化学方法对不同时间和不同热处理温度下制备的薄膜在Tyrode′s模拟体液中的腐蚀行为进行了研究。结果表明,随沉积时间的增加,膜层增厚,抗腐蚀性能增强,而且热处理后薄膜的性能更佳。原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)发现膜由均匀的纳米粒子堆积而成,膜层光滑。沉积96h,然后经过500℃、1h热处理后得到的TiO2薄膜的性能最佳。 展开更多
关键词 不锈钢 液相沉积 tio2薄膜 耐蚀性 表面改性
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基片温度对TiO_2薄膜表面形貌和性能的影响 被引量:6
5
作者 黄永刚 陈敏 +2 位作者 李长敏 张庆瑜 黄英 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期382-385,共4页
利用射频磁控溅射设备在玻璃基片上制备TiO2薄膜,采用AFM、UV-Vis分光光度、接触角测定仪等测试手段,研究基片温度对薄膜表面形貌、粗糙度和表面性能的影响。结果表明,随着基片温度增加,薄膜表面粗糙度增大,薄膜中颗粒由无定形态逐渐向... 利用射频磁控溅射设备在玻璃基片上制备TiO2薄膜,采用AFM、UV-Vis分光光度、接触角测定仪等测试手段,研究基片温度对薄膜表面形貌、粗糙度和表面性能的影响。结果表明,随着基片温度增加,薄膜表面粗糙度增大,薄膜中颗粒由无定形态逐渐向定向排列的晶态转变,而薄膜结构、表面形貌和粗糙度的变化明显影响薄膜表面性能。最后,探讨了薄膜的生长机理。 展开更多
关键词 tio2薄膜 基片温度 原子力显微镜 表面形貌 表面性能
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掺镧对玻璃表面TiO_2薄膜光催化性能的影响 被引量:8
6
作者 王承遇 钟萍 +2 位作者 姜妍彦 谷秀梅 张国武 《建筑材料学报》 EI CAS CSCD 2000年第1期33-35,共3页
采用溶胶凝胶法制备了玻璃表面上掺杂镧的TiO2薄膜.利用高压液相色谱仪、可见紫外分光光度计和扫描电镜研究了不同镧掺杂量及不同热处理温度对玻璃表面TiO2薄膜光催化降解油酸的影响。
关键词 光催化降解 tio2薄膜 玻璃表面 镧掺杂
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沉积条件和表面改性对磁控溅射法制备TiO_2薄膜性能的影响 被引量:4
7
作者 张文杰 杨丽丽 +2 位作者 李瑛 朱圣龙 王福会 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期479-484,共6页
TiO2薄膜具有许多独特的性能,作为一种令人满意的材料被应用于诸多领域。磁控溅射作为制备这种多功能薄膜的一种主要方法,也越来越引起人们的关注。TiO2薄膜的结构和性能是由沉积条件决定的。通过改变沉积速度、溅射气体、靶温度、退火... TiO2薄膜具有许多独特的性能,作为一种令人满意的材料被应用于诸多领域。磁控溅射作为制备这种多功能薄膜的一种主要方法,也越来越引起人们的关注。TiO2薄膜的结构和性能是由沉积条件决定的。通过改变沉积速度、溅射气体、靶温度、退火过程以及采用其它溅射技术,可以得到金红石、锐钛矿或是非晶的TiO2膜,同时具有不同的光催化、光学及电学性能,能够满足不同应用领域的需要。同时,表面改性可以克服TiO2薄膜的应用局限性,使之具有更佳的使用性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 tio2 薄膜 沉积条件 表面改性
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HNO_3处理对TiO_2纳米薄膜的光催化活性和表面微结构的影响 被引量:3
8
作者 张谢群 余家国 +3 位作者 赵修建 赵丽 莫少波 刘英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1337-1344,共8页
通过sol-gel工艺分别在钠钙玻璃和预涂SiO_2涂层的钠钙玻璃基体上制备了TiO_2。光催化纳米薄膜.然后用1mol/L HNO_3水溶液对煅烧后的薄膜进行酸处理.用X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)和紫外可见光谱(UV-VIS)对酸处理前后TiO_2纳... 通过sol-gel工艺分别在钠钙玻璃和预涂SiO_2涂层的钠钙玻璃基体上制备了TiO_2。光催化纳米薄膜.然后用1mol/L HNO_3水溶液对煅烧后的薄膜进行酸处理.用X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)和紫外可见光谱(UV-VIS)对酸处理前后TiO_2纳米薄膜进行了表征.用甲基橙水溶液的光催化脱色来评价TiO_2薄膜的光催化活性.结果表明:SiO_2涂层能有效阻止钠离子从玻璃基体向TiO_2薄膜的扩散;普通玻璃表面的TiO_2纳米薄膜经HNO_3处理后,薄膜的光催化活性明显增强.这是由于TiO_2纳米薄膜中的钠离子浓度降低以及表面羟基含量增加的缘故. 展开更多
关键词 tio2纳米薄膜 光催化活性 表面酸处理 硝酸
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表面溶胶-凝胶法制备TiO_2薄膜的微观结构及其摩擦磨损性能研究 被引量:5
9
作者 贾庆远 张玉娟 +1 位作者 吴志申 张平余 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期432-436,共5页
采用表面溶胶-凝胶法在普通载玻片上制备TiO2纳米结构薄膜,用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜组成结构及其表面形貌,用UMT-2型摩擦磨损试验机考察表面溶胶-凝胶法和传统体溶胶-凝胶法制备的TiO2... 采用表面溶胶-凝胶法在普通载玻片上制备TiO2纳米结构薄膜,用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜组成结构及其表面形貌,用UMT-2型摩擦磨损试验机考察表面溶胶-凝胶法和传统体溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜的摩擦磨损性能,用扫描电子显微镜(SEM)观察分析薄膜表面及其磨痕表面形貌.结果表明,与传统体溶胶-凝胶法相比,表面溶胶-凝胶法制备的薄膜摩擦磨损性能得到明显改善.这是由于多次干燥过程在一定程度上避免了传统体溶胶-凝胶工艺的后续干燥和热处理过程中大量残留溶剂瞬时溢出而导致的结构缺陷,从而使得薄膜具有更高的致密性,降低了薄膜表面粗糙度,提高了抗磨性. 展开更多
关键词 纳米薄膜 表面溶胶-凝胶 摩擦磨损性能 tio2
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光催化纳米CdS复合TiO_2薄膜的表面形貌及太阳光光催化性能 被引量:15
10
作者 尚华美 邱剑勋 +1 位作者 王承遇 陶瑛 《玻璃与搪瓷》 CAS 北大核心 2002年第3期18-20,35,共4页
采用禁带宽度较窄的CdS与TiO2 进行复合 ,形成复合光催化纳米薄膜 ,可使自洁净玻璃的太阳光光催化效率大大提高。以溶胶 -凝胶法 ,通过旋转涂膜工艺在玻璃表面制备CdS复合TiO2 薄膜。利用SEM研究玻璃表面复合薄膜的形貌 ,电子能谱研究... 采用禁带宽度较窄的CdS与TiO2 进行复合 ,形成复合光催化纳米薄膜 ,可使自洁净玻璃的太阳光光催化效率大大提高。以溶胶 -凝胶法 ,通过旋转涂膜工艺在玻璃表面制备CdS复合TiO2 薄膜。利用SEM研究玻璃表面复合薄膜的形貌 ,电子能谱研究玻璃表面薄膜成分 ,并且利用高效液相色谱和可见光分光光度计测定薄膜对油酸。 展开更多
关键词 表面形貌 太阳光 光催化性能 二氧化钛 光催化降解 tio2薄膜 醋酸 玻璃基片
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表面修饰TiO_2光催化薄膜的表征(英文) 被引量:2
11
作者 郑树凯 郝维昌 +4 位作者 程躜 潘峰 王天民 赵艳玲 蒋湘宁 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期125-127,共3页
利用射频磁控溅射技术,以Ar和O_2气混合气体为溅射气体在载玻片上制备了锐钛相TiO_2薄膜。为了提高TiO_2薄膜的光催化活性,在TiO_2薄膜表面进行了钽修饰。利用X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM)和UV-VIS-NIR分光光度计等技术对薄膜进行... 利用射频磁控溅射技术,以Ar和O_2气混合气体为溅射气体在载玻片上制备了锐钛相TiO_2薄膜。为了提高TiO_2薄膜的光催化活性,在TiO_2薄膜表面进行了钽修饰。利用X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM)和UV-VIS-NIR分光光度计等技术对薄膜进行了表征。结果表明:对TiO_2薄膜的表面进行适量的Ta元素修饰可以提高其光催化活性。 展开更多
关键词 tio2薄膜 表面修饰 光催化活性
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多孔TiO_2纳米薄膜的制备及PEG对其表面形貌的影响 被引量:3
12
作者 赵转清 姚素薇 +1 位作者 张卫国 龚正烈 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第5期75-76,共2页
用溶胶-凝胶法制备了多孔TiO_2纳米薄膜修饰的镍基电极。用STM观察了TiO_2纳米薄膜的表面形貌。由STM知,随烧结温度升高和PEG(聚乙二醇)含量增加,TiO_2纳米薄膜表面孔穴的数量增加,孔径增大。
关键词 多孔tio2纳米薄膜 制备 表面形貌 STM PEG 二氧化钛 太阳能电池 电极材料
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TiO_2/Ta_2O_5复合薄膜对医用NiTi合金的表面改性 被引量:3
13
作者 陈吉华 陈鼎 杨大智 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期27-33,共7页
采用 AFM,XRD和 XPS等对 Ni Ti表面离子束合成 Ti O2 /Ta2 O5复合薄膜的表面微观形貌、微结构和表面化学组成进行了表征。同时研究了膜层的力学性能、抗模拟体液腐蚀性和抗凝血性。结果表明 ,适当组成的 Ti O2 /Ta2 O5复合薄膜能显著提... 采用 AFM,XRD和 XPS等对 Ni Ti表面离子束合成 Ti O2 /Ta2 O5复合薄膜的表面微观形貌、微结构和表面化学组成进行了表征。同时研究了膜层的力学性能、抗模拟体液腐蚀性和抗凝血性。结果表明 ,适当组成的 Ti O2 /Ta2 O5复合薄膜能显著提高 Ni 展开更多
关键词 tio2/Ta2O5复合薄膜 医用NiTi合金 表面改性 离子束改性 抗蚀性 抗凝血性 镍钛合金 表面微观形貌
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TiO_2/Al_2O_3薄膜对金刚石表面改性研究 被引量:3
14
作者 胡伟达 刘小磐 +3 位作者 陈宪宏 万隆 郭凌虹 李志平 《湖南工业大学学报》 2017年第1期87-92,共6页
采用溶胶涂膜工艺在金刚石表面涂覆TiO_2/Al_2O_3薄膜,并通过扫描电子显微镜、能谱分析仪、红外光谱仪、掠入式X射线衍射仪、接触角测定仪、Zeta电位分析仪及陶瓷高温物相仪等,对涂覆TiO_2/Al_2O_3薄膜前后的金刚石表面形貌及其性能进... 采用溶胶涂膜工艺在金刚石表面涂覆TiO_2/Al_2O_3薄膜,并通过扫描电子显微镜、能谱分析仪、红外光谱仪、掠入式X射线衍射仪、接触角测定仪、Zeta电位分析仪及陶瓷高温物相仪等,对涂覆TiO_2/Al_2O_3薄膜前后的金刚石表面形貌及其性能进行了测定与分析。测定结果表明:选用溶胶涂膜工艺,可以在金刚石表面涂覆TiO_2/Al_2O_3薄膜,两者界面间以C—O—Ti和Ti—O—Al化学键结合;TiO_2/Al_2O_3薄膜的晶型结构主要为锐钛矿、金红石相、γ-Al_2O_3和Al_2TiO_5等物质;涂覆TiO_2/Al_2O_3薄膜后,能有效改善金刚石的表面亲水性能及陶瓷的高温润湿性能。 展开更多
关键词 tio2/Al2O3 薄膜 金刚石 表面改性
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退火温度对TiO_2薄膜结构和表面形貌的影响 被引量:3
15
作者 侯亚奇 庄大明 +2 位作者 张弓 赵明 吴敏生 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第4期247-251,共5页
研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2 薄膜结构和表面形貌的影响。利用X射线衍射仪和原子力显微镜 ,检测了TiO2 薄膜的晶体结构和表面形貌。实验结果显示 :沉积态TiO2 薄膜为非晶态 ;低温 (70 0℃以下 )退火后 ,TiO2 ... 研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2 薄膜结构和表面形貌的影响。利用X射线衍射仪和原子力显微镜 ,检测了TiO2 薄膜的晶体结构和表面形貌。实验结果显示 :沉积态TiO2 薄膜为非晶态 ;低温 (70 0℃以下 )退火后 ,TiO2 薄膜出现锐钛矿相 ,晶粒长大不明显 ;高温退火 (90 0℃以上 )后 ,薄膜转变为金红石相 ,晶粒由柱状转变为棱状 。 展开更多
关键词 退火温度 结构 表面形貌 tio2薄膜 中频交流磁控溅射 锐钛矿 金红石 二氧化钛 TEM X射线衍射
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镁合金表面TiO_2薄膜制备技术研究进展 被引量:2
16
作者 张保丰 陈小伟 +1 位作者 蒋爱云 周亚军 《铸造技术》 CAS 北大核心 2012年第5期544-546,共3页
综述了目前镁合金表面TiO2薄膜制备技术的研究情况,重点介绍了溶胶-凝胶法、化学镀、液相沉积法、物理气相沉积法、电沉积法、喷雾热解沉积法、原子层沉积技术、激光熔覆、热喷涂等工艺的原理和制备技术。
关键词 镁合金 tio2薄膜 表面改性
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医用TiO_2/SiO_2薄膜表面共价键合肝素研究 被引量:4
17
作者 刘敬肖 杨大智 蔡英骥 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期529-536,共8页
以γ-氨丙基三乙氧基硅烷和戊二醛作为偶联剂研究了TiO2与SiO2-TiO2生物陶瓷膜表面固定肝素. 利用红外光谱(FT-IR)和X光电子能谱(XPS)的测量结果表征薄膜表面肝素化前后的结构和组成;对接触角和体外血液相容性的研究表明,肝素化处理... 以γ-氨丙基三乙氧基硅烷和戊二醛作为偶联剂研究了TiO2与SiO2-TiO2生物陶瓷膜表面固定肝素. 利用红外光谱(FT-IR)和X光电子能谱(XPS)的测量结果表征薄膜表面肝素化前后的结构和组成;对接触角和体外血液相容性的研究表明,肝素化处理后,薄膜表面的亲水性和抗凝血性显著提高. 展开更多
关键词 表面共价键合肝素 医用材料 二氧化钛 二氧化硅 血管内皮架 tio2/SiO2薄膜 肝素固定 抗凝血性
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利用掺杂及梯度复合技术对生物材料进行TiO_2(Ta^(5+))/TiN薄膜表面改性的研究 被引量:2
18
作者 陈俊英 冷永祥 +4 位作者 杨萍 孙鸿 王进 万国江 黄楠 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第1期64-66,共3页
采用磁控溅射技术同热氧化相结合的方法合成TiO2(Ta5+)/TiN复合薄膜,并对薄膜的硬度、摩擦磨损等力学特性以及血小板粘附等血液相容性进行了研究.研究结果表明,掺杂使血液相容性提高,梯度复合使力学特性改善,因而薄膜具有良好的力学耐... 采用磁控溅射技术同热氧化相结合的方法合成TiO2(Ta5+)/TiN复合薄膜,并对薄膜的硬度、摩擦磨损等力学特性以及血小板粘附等血液相容性进行了研究.研究结果表明,掺杂使血液相容性提高,梯度复合使力学特性改善,因而薄膜具有良好的力学耐久性和血液相容性.此外,薄膜与血液的界面张力也被测试.结果表明,低的薄膜/血液界面张力改善了TiO2(Ta5+)/TiN复合薄膜的血液相容性. 展开更多
关键词 梯度复合 磁控溅射 生物材料 tio2(Ta^5+)/TiN复合薄膜 表面改性 血液相容性 力学特性 掺杂技术
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聚四氟乙烯表面PDA/TiO2复合薄膜的构建及其细胞响应性 被引量:3
19
作者 何旭昭 胡惠文 +2 位作者 朱翼飞 程逵 翁文剑 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期30-36,共7页
聚四氟乙烯(PTFE)具有良好的生物稳定性,是一种被广泛应用的生物材料。利用聚多巴胺(PDA)化学及原位共沉积法,在PTFE基板表面沉积制备复合薄膜,以改善其表面的亲水性和细胞响应特性。研究结果显示,由PDA和TiO2构成的薄膜可以有效地沉积... 聚四氟乙烯(PTFE)具有良好的生物稳定性,是一种被广泛应用的生物材料。利用聚多巴胺(PDA)化学及原位共沉积法,在PTFE基板表面沉积制备复合薄膜,以改善其表面的亲水性和细胞响应特性。研究结果显示,由PDA和TiO2构成的薄膜可以有效地沉积与PTFE基板表面。薄膜均匀且与基板结合牢固,剪切强度可达23.5 MPa。薄膜中的TiO2含量可以通过沉积液中的TiO2水溶胶加入量调节。具有薄膜的PTFE表面成纤维细胞和成骨细胞响应性较之PTFE基板显著改进,1 d的细胞粘附试验和3 d的细胞增殖试验均显示涂层表面细胞数量显著高于无涂层的PTFE。这种在PTFE表面构建二氧化钛涂层的方法简单易行,在PTFE植入体表面修饰方面具有较好的应用前景。 展开更多
关键词 PDA/tio2复合薄膜 细胞响应性 聚四氟乙烯 表面改性
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TiO_2薄膜表面粗糙度对光学特性的影响 被引量:4
20
作者 潘永强 施洋 《西安工业大学学报》 CAS 2010年第1期1-4,共4页
薄膜表面粗糙度是影响薄膜光学性能的一个重要指标,采用Taylor Hobson表面轮廓仪对离子束辅助电子束热蒸发沉积的二氧化钛(TiO2)薄膜表面粗糙度进行了研究.采用椭偏仪通过选择不同的结构模型研究了不同基底粗糙度上沉积的TiO2薄膜的折... 薄膜表面粗糙度是影响薄膜光学性能的一个重要指标,采用Taylor Hobson表面轮廓仪对离子束辅助电子束热蒸发沉积的二氧化钛(TiO2)薄膜表面粗糙度进行了研究.采用椭偏仪通过选择不同的结构模型研究了不同基底粗糙度上沉积的TiO2薄膜的折射率和消光系数.研究结果表明:0.3 nm/s的沉积速率获得的TiO2薄膜表面粗糙度较小;在基底粗糙度较小时,TiO2薄膜具有一定的平滑作用.通过减小基底的粗糙度和考虑混合模型,TiO2薄膜特性有一定的提升,随着薄膜表面粗糙度的增加其折射率趋于2.08,消光系数趋于0.04. 展开更多
关键词 tio2薄膜 表面粗糙度 光学常数 椭偏仪
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