基于图形环境信息的干涉问题自动处理

图形干涉是参数化设计中普遍存在而有待解决的问题．本文通过对于涉约束的描述和环境信息的提取，提出了基于图形环境信息的干涉问题自动处理方法．经实际检验，这种方法是十分有效的，对推进参数化设计有着重要的意义．

基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻

为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。

零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制

利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。

工程CAD系统中的实时图形处理算法和技术

针对工程CAD软件开发中经常遇到的图形相关或图形干涉问题 ,如复杂图形构形、变异、遮挡、相交、布局等 ,借鉴AutoCAD交互图形处理技术 ,提出了采用实时图形生成技术解决工程图样中复杂图形处理的思路 ,以提高工程图样生成系统的模块化和开发效率 .给出了适用于工程CAD软件开发实时图形处理的算法和技术 ,以及解决不确定图元相关及重叠的自动搜索算法和图形布局的交互生成算法两个实例 ,可以有效地解决图形处理中的一些复杂问题 .

基于BL碰撞算法求解排样过程中干涉的问题

在自动排料过程中,采用BL排放策略的移动碰撞算法时,需要反复地更新待排板料中多边形的边界,在某次更新边界的规则不合理时,排放下一块料极易出现图形干涉的现象。针对这个问题,本文采用计算机图形学和计算几何方面的知识,提出一种解决合成多边形时出现干涉问题的方法。

自适应光学波面相位重构的区域算法

探讨了波面相位斜率数据重构原始波面相位的区域算法,以重构速度和精度两项指标比较了多种解法,其中尤以奇异值分解求广义逆阵法为佳.重构波面相位后,用最小二乘法分离出倾斜量和离焦量,解决了待校正的相位信号动态范围大的问题.给出了计算机模拟重构波面以及波前传感器实时重构波面的例子,区域算法适用于较大阵列的自适应光学系统,以及光学测量的剪切干涉图形的处理。