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圆形振动膜硅微电容传声器 被引量：3
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作者 田静 汪承灏 +4 位作者 徐联 乔东海 马军 郝震宏 魏建辉 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2297-2299,2303,共4页
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz^18kHz的范围内的频率响应也较平坦.
关键词 声学微电子机械系统 硅微电容传声器 圆型振动膜
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