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基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究
被引量:
4
1
作者
李俊红
汪承灏
+2 位作者
刘梦伟
马军
魏建辉
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第18期85-88,共4页
为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器。采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力集中,并通过深硼扩...
为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器。采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力集中,并通过深硼扩散技术,增加圆形围墙的厚度,避免了振动膜的'软'支撑问题;振动膜采用Si3N4/SiO2/Si3N4复合结构,减少振动膜的内应力;采用电极分割串联技术,传声器被分割成在声学上并联、在电学上串联的若干部分,以期提高MEMS传声器的灵敏度。在结构优化的基础上,利用MEMS技术制备压电微传声器,所制备传声器振动膜平坦、无褶皱,成品率有了明显提高。在消声室中采用同时比较法对传声器进行测量,优化设计的圆形振动膜传声器的灵敏度有了明显提高,达到0.3 mV/Pa。
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关键词
微机电系统
压电微传声器
圆形振动膜
分割电极
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职称材料
圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制
被引量:
4
2
作者
杨楚威
李俊红
+1 位作者
黄歆
汪承灏
《应用声学》
CSCD
北大核心
2006年第4期197-200,共4页
本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成...
本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%。
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关键词
硅微传声器
圆形振动膜
压电薄
膜
ZNO
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职称材料
基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究
被引量:
1
3
作者
宫铭举
邓越
+4 位作者
马军
汤亮
乔东海
何庆
王孟姣
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期199-202,共4页
在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上,采用圆形硅膜作为振动膜,研制了电容式低频传声器,该传声器直接采用音频传声器结构,不同于以往的电容式低频传声器结构。首先进行了等效结构参数的仿真,为实验提供了理论支持;然后,制备...
在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上,采用圆形硅膜作为振动膜,研制了电容式低频传声器,该传声器直接采用音频传声器结构,不同于以往的电容式低频传声器结构。首先进行了等效结构参数的仿真,为实验提供了理论支持;然后,制备了直径为0.08m,厚度约60μm的圆形硅膜,并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器,其中,两极板间的气隙厚度约为100μm。测试表明,当偏置电压为4.5V时,该传声器具有较高的灵敏度,100Hz处的灵敏度约为-27dB,通频带(20~300Hz)平坦,低频响应部分(0~20Hz)需要改进方法进一步测试。
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关键词
低频
电容式
圆形
硅
振动
膜
高灵敏度
通频带
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职称材料
基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器
被引量:
2
4
作者
宫铭举
何庆
+4 位作者
汤亮
马军
乔东海
邓越
王孟姣
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第5期675-677,681,共4页
在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上,提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器。模拟仿真和结构参数优化,为实践提供了理论依据。在此基础上,探索性的研制了圆形振动膜半径为40mm,气隙厚...
在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上,提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器。模拟仿真和结构参数优化,为实践提供了理论依据。在此基础上,探索性的研制了圆形振动膜半径为40mm,气隙厚度为50μm的低频传声器,实验表明,该传声器具有较高的灵敏度,当偏置电压为6V、100Hz时,灵敏度高达-25dB,在通频带(20~800Hz)局部平坦。
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关键词
微机电系统(MEMS)
低频
电容式
圆形振动膜
高灵敏度
通频带
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职称材料
题名
基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究
被引量:
4
1
作者
李俊红
汪承灏
刘梦伟
马军
魏建辉
机构
中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第18期85-88,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(11074274
11174319)
文摘
为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器。采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力集中,并通过深硼扩散技术,增加圆形围墙的厚度,避免了振动膜的'软'支撑问题;振动膜采用Si3N4/SiO2/Si3N4复合结构,减少振动膜的内应力;采用电极分割串联技术,传声器被分割成在声学上并联、在电学上串联的若干部分,以期提高MEMS传声器的灵敏度。在结构优化的基础上,利用MEMS技术制备压电微传声器,所制备传声器振动膜平坦、无褶皱,成品率有了明显提高。在消声室中采用同时比较法对传声器进行测量,优化设计的圆形振动膜传声器的灵敏度有了明显提高,达到0.3 mV/Pa。
关键词
微机电系统
压电微传声器
圆形振动膜
分割电极
Keywords
Micro-electro-mechanical systems(MEMS) Piezoelectric microphone Circular diaphragm Segmenting electrodes
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制
被引量:
4
2
作者
杨楚威
李俊红
黄歆
汪承灏
机构
中国科学院声学研究所
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2006年第4期197-200,共4页
基金
国家自然科学基金青年科学基金项目(10204021)
国家自然科学基金SOC重点基金项目(90207003)
文摘
本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%。
关键词
硅微传声器
圆形振动膜
压电薄
膜
ZNO
Keywords
Silicon micro-microphone. Circular vibrating film, Piezoelectric film, ZnO
分类号
TN641 [电子电信—电路与系统]
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究
被引量:
1
3
作者
宫铭举
邓越
马军
汤亮
乔东海
何庆
王孟姣
机构
天津理工大学电信学院
中国科学院声学所声学微机电实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期199-202,共4页
文摘
在电容式传声器相关理论以及方形膜研究的基础上,采用圆形硅膜作为振动膜,研制了电容式低频传声器,该传声器直接采用音频传声器结构,不同于以往的电容式低频传声器结构。首先进行了等效结构参数的仿真,为实验提供了理论支持;然后,制备了直径为0.08m,厚度约60μm的圆形硅膜,并以此硅膜为振动膜研发了一种高灵敏度的低频传声器,其中,两极板间的气隙厚度约为100μm。测试表明,当偏置电压为4.5V时,该传声器具有较高的灵敏度,100Hz处的灵敏度约为-27dB,通频带(20~300Hz)平坦,低频响应部分(0~20Hz)需要改进方法进一步测试。
关键词
低频
电容式
圆形
硅
振动
膜
高灵敏度
通频带
Keywords
low-frequency
condenser
circular silicon diaphragm
high sensitivity
transmission bandsEEACC. 7230
7810
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器
被引量:
2
4
作者
宫铭举
何庆
汤亮
马军
乔东海
邓越
王孟姣
机构
中国科学院声学所声学微机电实验室
天津理工大学计算机与通信工程学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第5期675-677,681,共4页
文摘
在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上,提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器。模拟仿真和结构参数优化,为实践提供了理论依据。在此基础上,探索性的研制了圆形振动膜半径为40mm,气隙厚度为50μm的低频传声器,实验表明,该传声器具有较高的灵敏度,当偏置电压为6V、100Hz时,灵敏度高达-25dB,在通频带(20~800Hz)局部平坦。
关键词
微机电系统(MEMS)
低频
电容式
圆形振动膜
高灵敏度
通频带
Keywords
MEMS
low-frequency
condenser
circular diaphragm
high sensitivity
transmission bands
分类号
TN6 [电子电信—电路与系统]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究
李俊红
汪承灏
刘梦伟
马军
魏建辉
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
4
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职称材料
2
圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制
杨楚威
李俊红
黄歆
汪承灏
《应用声学》
CSCD
北大核心
2006
4
下载PDF
职称材料
3
基于硅膜的电容式高灵敏度低频传声器研究
宫铭举
邓越
马军
汤亮
乔东海
何庆
王孟姣
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
下载PDF
职称材料
4
基于MEMS的高灵敏度电容式低频传声器
宫铭举
何庆
汤亮
马军
乔东海
邓越
王孟姣
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009
2
下载PDF
职称材料
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