光学衍射法细圆柱体直径测量的不确定度

为了提高光学衍射法细圆柱体直径测量精度,用递归法建立了更精确的改进模型。运用改进模型测量细圆柱体直径时,克服了传统测量模型由衍射角引起的原理误差,提高了测量精度。光源的波长误差、暗条纹位置误差和透镜焦距调整误差均会产生测量不确定度,使用改进模型时的计算值分别为0.024μm,1.920μm和0.529μm。细圆柱体直径测量实验结果表明,基于改进模型的光学衍射法的相对测量误差在0.5%以下,优于目前1%的水平;测量不确定度小于2μm,与理论分析相一致。

测量质量不均匀圆柱体质心的方法

本文介绍了借助质量传感器和光栅尺传感器对质量不均匀圆柱体的质心进行测量的原理和方法