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改进的超纯水系统用低溶解氧实现无天然氧化层的圆片处理
1
作者
谢嘉慧
《山东半导体技术》
1994年第2期30-37,共8页
关键词
天然氧化层
圆片处理
超纯水系统
下载PDF
职称材料
一种方片校正装置
2
作者
刘辉
张国彪
雷永全
《电子元器件应用》
2003年第6期53-54,共2页
介绍1种方片校正装置,用来解决方片在圆片处理系统上运行时所遇到的传输和收片困难。
关键词
方
片
校正盘
圆片处理
系统
传输
收
片
下载PDF
职称材料
题名
改进的超纯水系统用低溶解氧实现无天然氧化层的圆片处理
1
作者
谢嘉慧
出处
《山东半导体技术》
1994年第2期30-37,共8页
关键词
天然氧化层
圆片处理
超纯水系统
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
一种方片校正装置
2
作者
刘辉
张国彪
雷永全
机构
西北机器厂
出处
《电子元器件应用》
2003年第6期53-54,共2页
文摘
介绍1种方片校正装置,用来解决方片在圆片处理系统上运行时所遇到的传输和收片困难。
关键词
方
片
校正盘
圆片处理
系统
传输
收
片
Keywords
Square wafer, Correction
Corrected disk
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
改进的超纯水系统用低溶解氧实现无天然氧化层的圆片处理
谢嘉慧
《山东半导体技术》
1994
0
下载PDF
职称材料
2
一种方片校正装置
刘辉
张国彪
雷永全
《电子元器件应用》
2003
0
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职称材料
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