电子束直写圆片技术

本文扼要介绍了电子束直写圆片的原理，地形标记的识别，以及电子束曝光系统能识别的圆片标记的制造技术。

国外ASIC工艺设备现状及趋势

本文根据专用集成电路（ＡＳＩＣ）制造工艺的特点，主要介绍了电子束和激光束片子直写系统的应用及适用于ＡＳＩＣ标准加工线的计算机工艺集成、模块组合加工系统的发展趋势。