晶圆盒中晶圆位置检测技术的研究

晶圆盒自动开盖机构(Load Port)是半导体工业自动化中的核心设备之一,晶圆盒(Cassette)中晶圆位置检测(Mapping)过程的好坏直接决定了Load Port的优劣。通过简要介绍晶圆自动开盖机构检测的原理,阐述了由于晶圆弯曲对检测过程影响。然后把晶圆抽象为一个密度不等的梁,计算出其在重力作用下产生的挠度,并把两测量点之间的最大挠度与晶圆的实际厚度的和作为晶圆的计算厚度,解决了晶圆变弯对检测过程的影响,使检测的精度得到改善。

半导体生产中晶圆盒污染的管理

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用。在半导体生产过程中，考虑到晶圆盒有可能受到的污染，生产流程中已经设置了晶圆盒清洗的标准步骤，即使这样，随着使用年限的增加以及异常晶圆和机台的影响，晶圆盒的污染问题已经不能够被正常的清洗步骤所能解决，出于对质量和成本的考量，晶圆厂有必要在最初晶圆厂制程设计的基础上加强对于晶圆盒污染的管理。本文着重探讨了晶圆污染的机理，检测方法以及污染的晶圆盒的重复利用。

晶圆/晶圆盒表面状态对氮气净化处理的影响

在湿式或干式晶圆/晶圆盒表面状态下进行氮气净化测试。在快速的净化与进入过程(无净化)中测试了氧气与湿气浓度。测量采用60、30和5 LPM(升/每分钟)的吹气流率以及2个小时的进入测试时间。结果显示,净化与进入过程中的晶圆盒(FOUP)内氧气浓度几乎与晶圆/晶圆盒状态无关。另一方面,晶圆/晶圆盒表面状态对湿气净化及进入过程有重大影响。晶圆/晶圆盒的表面状态越干燥,晶圆盒内就能够实现越低的湿气浓度并在净化与进入过程中得以保持。

档案与文物:竹丝缠枝番莲多宝格圆盒在清宫的陈设

清宫《陈设档》记录着宫内外各个殿堂陈设物品造具的详细资料,保存了清宫文物丰富的信息。本文从小处着眼,通过查阅清宫文物竹丝缠枝番莲多宝格圆盒保留在《陈设档》上的线索,追溯此器当年在清宫的味列位置以及皇帝观摩把玩的实际信息。

让圆盒向上滚

我们知道，由于重力的缘故，东西一般只会向下滚，但我们只要采取一个小手段，就能使圆盒向上滚。不信？那我们就来试试吧!

天花板上的小圆盒是干什么用的

一提到核技术,很多人都会觉得离我们的日常生活遥不可及,其实,现代核科学技术早已悄悄地走进了我们的日常生活。现在,就让我们带着一双发现的眼睛,拨开迷雾,揭开隐藏在我们身边的核技术的神秘面纱。在宾馆、招待所等公共场所中,经常能看到天花板上有一个小圆盒子,这就是通过检测烟雾来实现火灾防范的烟雾报警器。

浮聚管的高度与线虫卵检出率的关系

饱和盐水浮聚法是目前常用的查粪中虫卵方法之一,但规格不一,有洪氏改良法的金属圆盒,平底玻管,方口圆底铁皮盒,塑料圆筒,小玻璃杯、小酒杯,青霉素瓶,或小试管等,形状不一,容器的高度不等（2～12cm）。本文仅就专用的浮聚管几种高度进行实验,初步观察其与检卵率的关系。

故宮藏日本漆器淺議

在故宫博物院收藏的古代文物中,有一类极少面世的泊来工艺品——日本漆器。它们是明、清两代皇宫的遗物,数量大、品类多、内容丰富,较充分的显示了日本漆器的风格特点,具有很高的艺术欣赏和研究价值。这些日本漆器数目逾千件,从器物上所贴的标记分析。

溥仪大婚中的几件文物

婉容喜轎 清代,在紫禁城内举行过大婚典礼的皇帝有顺治、康熙、同治、光绪(成婚后继位的皇帝不在此例),还有退位十二年的溥儀。 1922年溥儀结婚时,已是民国,但婚礼仍然沿用清代皇帝结婚的全套儀式:纳采(皇帝派人到女方家送彩礼);大徵(皇帝派人到女方家通知成婚的日期);册封(皇帝派人到女方家送去名份的寶册);奉迎(迎娶皇后入宫)。清宫饮天监为溥儀结婚選的吉期分别是: 纳采礼:10月21日(九月初二日)巳时; 大徵礼:11月12日(九月二十四日)巳时;

如何选购适合半导体专用的大气机械手臂运用于EFEM设备上

从φ150mm开始Robot(机械手臂)就被广泛运用,除了有效地降低微尘颗粒的大小、允许以程序化来决定晶圆取放的路径等优点外,自动化作业的迫切需求,更是其主要原因。Robot被分为Liner与Scara两种,ScaraType在φ200mm及之后晶圆制造中运用较多。采购Robot通常有两种情况,一为只单纯买一个Robot,不需要配合其它外围做运用。二为需要搭配外围做整合蛐集成,此种方式在半导体业较为普及,但是也较为复杂。现以布鲁克斯穴Brooks雪在设备自动化整合方面的经验,与国内业界友人一同探讨选购Robot的诀窍及注意事项。

ZTJ-2930型中药蜜丸自动贴签机

黑龙江省机械工业研究所研制的中药蜜丸自动贴签机,经哈尔滨中药三厂使用效果满意,不久将进行批量生产,现简要介绍如下。

电子流动方向指示器

电子流动方向指示器是利用电流流经导线产生的磁场,使导线一侧的磁针发生一定方向的偏转,让学生根据物理学的知识,用右手定则判断出电子从导线中流过的方向,从而认识原电池中电极上哪一极发生了氧化反应,哪一极发生还原反应。

法门寺文物保护工作的反思及设想

去年五月,全国文物工作会议在古城西安召开,国务委员李瑞环同志,就文物的保护问题,作了重要的讲话,党中央、国务院制订了“保护为主、抢救第一”的基本方针,充分体现了党和国家对文物保护的高度重视,也符合广大文物工作者的心愿。法门寺历史文物,为唐代诸帝迎奉佛骨所供养,其质量之优,等级之高,为历次唐代文物发现所罕见,对研究我国唐代的历史,有着重要的学术价值,这批祖国瑰宝,如何进行保护,成为法门寺博物馆当前最重要的工作之一。法门寺文物,从质地上划分。

电子制造

VICTREXPEEK先进CMP保持环与FOUP晶圆盒:高性能聚合物材料集团及全球VICTREXPEEK品牌聚合物制造与供应商威克斯公司(Victrex plc)推出其在半导体领域的先进专有技术。对要求严格的CMP保持环应用来说，VICTREXPEEK具有高纯度、高强度、耐化学品性能、耐高温性能及电气性能等独特优势。化学机械平坦化(claemical mechanical planarization，CMP)是半导体晶圆制造工艺的关键步骤，它需要严格的工艺控制、紧密公差及高质量的表面外形与平面度。

乾隆皇帝咏雕漆

中国历史上有些皇帝不仅政绩显赫,而且在文学、历史方面的修养也很高,清朝的乾隆皇帝可以说是其中的佼佼者。弘历酷爱古玩,他不仅喜欢在字画上题诗作注,盖上自己的御玺,而且还经常吟咏诗句,进行评价。在他所咏的与古玩有关的诗中,除字画、玉器较多外,其次要数漆器了。其中又有几十首是专门咏雕漆的。

用牙线不能代替刷牙

牙线是我们常用的一种清洁牙齿的工具,可以深入到牙缝中,起到有效的清洁牙面、剔出嵌塞食物的作用。牙线多采用尼龙线、丝线、涤纶线或上蜡的棉线制成。目前市场上最常见的是普通牙线、牙线棒和水牙线。普通牙线普通牙线一般是装在一个带滚轮的小圆盒内,牙线缠绕在滚轮上,使用时可以很方便地拉出来,便于随身携带。

安徽天长发现汉墓羣

一九九一年十二月,在安徽省天长县天长乡三角圩水利工地近一千平方米范围内,发掘出古墓群二十一座,出土文物五百六十九件。这批墓葬的时代,除一座属战国(前四七五——前二二一年)晚期外,其余二十座都是西汉(前二○六——公元二五年)早、中期墓葬。所有墓葬均为长方形竖穴土坑木槨墓。多为南北向,形制大小不一。其中最大的一号墓,墓坑长四米八,宽三米五。各墓均以棺槨为葬具,墓口深八十公分到二米五之间。大部分棺、槨保存完整。

几个实验

一、反作用力的实验 学生不易理解“反作用力”的含义,本教具的演示可解决这难点。 方法:如图1所示在一支塑料直尺的两头各安装一只玩具马达。马达轴上焊有铁皮剪成的螺旋桨。两节电池用玻璃纸固定在尺子上,并用导线串联好后与马达连接,作为马达电源。连接时要注意马达的极性,务使螺旋桨旋转时产生的作用力一致。在直尺平衡点钻一小孔,套到圆珠笔芯上。圆珠笔芯又套在钉在木底座上的铁丝外。

初级小学语文第五册语音教学参考材料(一)

说明:第五册语音教学参考材料主要是选词注音的。凡是带有生字的词和新出现的比较不常用的词, 都提出来注上音。也有一部分全文注音。从第15课开始。15. qiānréngāo千人糕,shūshu叔叔,zhùyìzhe注意着,jiūjìng究竟,dòngjīng动静,chúfàng厨房,duānchulai端出来,zǎo枣,huòmiàn和面,lí犁,zhēnglóng蒸笼,kǎn zhúzi砍竹子,jùmùtou锯木头,bùyóude不由得,kuànggōng矿工,méi煤,gǒnggǐ供给,tiěguō铁锅,diàn垫,zhāi摘,fǎ5ngshā纺纱,zhībù织布。