砷化镓高速集成电路内部电信号的光探针直接取样

本文介绍了电光取样技术原理报道了砷化镓高速集成电路内部电信号在片直接电光取样测量系统，它的时间分辨率优于２０ｐｓ，空间分辨率优于３μｍ。通过对砷化镓共面波导的测量证实该系统可以对砷化镓高速集成电路内部电信号进行在片直接电光取样测量。

行波电极测试系统中的共面微波探针研究

微波探针是测量系统与芯片之间传输信号的媒介,是实现半导体芯片的在片检测和筛选的重要工具之一。研究了一种用于测试行波电极的G-S-G型共面微波探针,通过理论仿真得到了优化的微波探针参数,并进行了微波探针的制备实验。最后通过矢量网络分析仪对探针进行性能测试。测试结果表明微波探针具有10GHz左右的3dB带宽。在13GHz频率范围内,微波探针具有较低的插入损耗。该探针性能优良,成本低,工艺简单,对于促进电光调制技术与光电器件的发展具有重要意义。