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透射式GaAs光电阴极激活技术研究 被引量：6
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作者 徐江涛 《应用光学》 CAS CSCD 2000年第4期5-7,15,共4页
通过对成像器件GaAs负电子亲合势 (NEA)光电阴极激活技术的研究 ,运用分析仪器进行工艺质量在线监测 ,在大、薄、匀的GaAs外延层激活出的台内阴极灵敏度大于 130 0 μA/lm。
关键词 NEA光电阴极 激活 在红监测 砷化镓 微光管
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