在线化学气相沉积法制备雾度可控的SnO_2:F薄膜

采用在线化学气相沉积法在玻璃基片上制备FTO(SnO2:F)薄膜,并通过调整原料MBTC(C4H9SnCl3)的含量实现FTO薄膜的雾度可控。采用雾度计、分光光度计、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜和四探针方阻计研究了不同雾度的FTO薄膜的微观结构和光电性能,并分析了雾度形成的机理。研究表明:随着MBTC投放量的增加,薄膜的晶粒粒径增大,膜层表面粗糙度增大,膜厚增加,雾度随之增加,同时晶粒趋向于(200)面生长;另一方面,随着雾度增加,透过率有所下降,薄膜的雾度与透过率是一对矛盾关系,高雾度和高透过率难以同时实现。