电容传感器在高温条件下的研究应用

本文在综述电容传感器的工作原理、结构特点以及灵敏度的基础上,提出一种结构新颖,性能独特的电容式 位移传感器装置,它能够对在线化学气相镀膜反应器喷嘴底面与玻璃板之间的距离进行高精度的实时监测。