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水分在线测量仪器在谷物干燥过程中的应用 被引量:6
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作者 李喜陆 于峰哲 温海江 《农机化研究》 北大核心 2006年第5期175-176,共2页
谷物干燥过程的自动控制对保证谷物烘后品质,降低干燥作业成本及提高生产率具有重要意义,而快速、准确地测量谷物水分是实现谷物干燥过程自动控制的关键。谷物水分测量的主要方法可分为直接测量和间接测量两大类。直接法是通过干燥或化... 谷物干燥过程的自动控制对保证谷物烘后品质,降低干燥作业成本及提高生产率具有重要意义,而快速、准确地测量谷物水分是实现谷物干燥过程自动控制的关键。谷物水分测量的主要方法可分为直接测量和间接测量两大类。直接法是通过干燥或化学反应直接测得谷物绝对水分含量的一种方法,其测量精度高,但测量时间长,可作为基准法用于谷物水分测定仪的检验和标定;间接法是通过测量与谷物水分变化相关的物理量的变化,来间接测量谷物水分含量的方法,特点是测量速度快,适用于干燥过程中谷物的在线检测。 展开更多
关键词 自动控制技术 在线测量传感器 应用 谷物干燥
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纸张在线定量测量控制技术
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作者 胡松 《中华纸业》 CAS 北大核心 2004年第1期47-50,共4页
综述了各种不同的纸张在线定量测量传感器控制系统的工作原理、特点、定量控制方法以及选用原则。
关键词 纸张 在线定量测量传感器 控制系统 密度测厚技术 β双面穿透式 γ单面反射式
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CMP透明膜厚测量设备发展历程
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作者 周国安 王东辉 +2 位作者 李伟 高文泉 詹阳 《电子工业专用设备》 2014年第2期1-5,共5页
论述了反射光谱学及椭圆偏振法的原理,根据这些原理分析了离线测量设备,并列举了具有代表性的设备Nanospec6100和KLA-TENCOR的ASET-F5X,指出离线设备的特点及其局限性;分析了集成测量平台的特点,相比于离线测量,集成测量平台可获... 论述了反射光谱学及椭圆偏振法的原理,根据这些原理分析了离线测量设备,并列举了具有代表性的设备Nanospec6100和KLA-TENCOR的ASET-F5X,指出离线设备的特点及其局限性;分析了集成测量平台的特点,相比于离线测量,集成测量平台可获得较高的片间非均匀性.但会造成前5~7片的浪费,列举代表性集成平台NovaScan 2040,并分析其具体的技术特点:分析了在线传感器终点检测的优越性,其具有控制薄膜形貌及终点检测的功能,结合先进过程控制,可以达到极高的平整度;结合以上分析,指出今后CMP设备的发展方向。 展开更多
关键词 化学机械平坦化 光学干涉法 椭圆偏振法 离线检测 集成测量平台 在线传感器测量
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Novel Optical Fiber Gas Sensor for On-line Measurement of Methane
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作者 WANGShu-tao CHERen-sheng +1 位作者 LIUJin WANGYu-tian 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2004年第2期141-144,共4页
Based on analysis of near infrared spectral absorption of methane,absorption type optical fiber methane gas sensor with high sensitivity using DFB LD as a source is demonstrated. Light source modulation harmonic measu... Based on analysis of near infrared spectral absorption of methane,absorption type optical fiber methane gas sensor with high sensitivity using DFB LD as a source is demonstrated. Light source modulation harmonic measurement is presented in this paper. In order to eliminate the noise, the ratio of the fundamental and second-harmonic signals is used. The mathematical model of gas concentration harmonic measurement is built up.The detection result of methane concentration is also shown. Experiments have proved a sensitivity of 28×10-6. 展开更多
关键词 Gas sensor METHANE MODULATION Harmonic measurement
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