高精度不可见内回转曲面在线自适应测量

本文介绍一种测量精度为± 2微米的高精度计算机辅助二维在线测量系统的测量原理和方法。分析了系统精度 ,用双频激光干涉仪测量系统组成部分的误差 ,并通过软件方法进行补偿。用最小二乘原理对燕尾榫槽轮廓度加工误差进行误差分离和测量信息反馈 ,Minimax方法对轮廓度加工误差进行最优计算。