新型低损耗氧化硅Y分支光波导

提出了一种新型的Y分支光波导结构。该Y分支波导由一个入射波导、一个过渡波导和一对出射波导组成。过渡波导用于改善入射基模与出射偶对称模之间的场分布匹配 ,有效地提高了功率耦合效率 ,降低了分支耦合损耗。波束传播法 (BPM)数字模拟计算表明 ,该结构在 1 31μm和 1 5 5 μm波长下可分别达到 0 0 41dB和 0 0 5 2dB分支耦合损耗。实验中用等离子化学汽相沉积 (CVD)技术制备了SiO2 分支波导样品 ,在上述两波长下分别测得分支耦合损耗为 0 0 8dB和 0 0 9dB ,基本达到了设计指标。