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场发射冷阴极的稳定性和可靠性研究
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作者 陈春辉 李琼 +2 位作者 徐静芳 刘新福 薛臻 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期133-137,共5页
讨论了清洁处理(CP)对FEC电子发射的影响。实验结果表明,CP能有效激活长时间存放于恶劣环境的FEC的电子发射;还研究了场热成形(FHF)对提高FEC电子发射稳定性和可靠性的作用。实验发现,正确选择阳极材料并进行必... 讨论了清洁处理(CP)对FEC电子发射的影响。实验结果表明,CP能有效激活长时间存放于恶劣环境的FEC的电子发射;还研究了场热成形(FHF)对提高FEC电子发射稳定性和可靠性的作用。实验发现,正确选择阳极材料并进行必要的真空除气,对防止尖端由于真空电弧而造成的破坏有重要意义。FHF对尖端表面的微观状态具有强烈的影响,具体表现在尖端表面有效功函数φ和尖端场增强因子β的改变上。经过CP和FHF处理,得到了发射稳定、可靠性好的FEC。 展开更多
关键词 平板显示 场致射冷阴极 可靠性 稳定性 制造
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