湿法刻蚀条件对TFT中Cu电极坡度角和均一性的影响及工艺参数优化

目的 在高世代薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)产线的栅极刻蚀制程,明确大气压等离子体(Atmosphere Pressure Plasma,APP)清洗功率、清洗时间及刻蚀时间对刻蚀性能(关键尺寸偏差、均一性、坡度角)的影响规律,并获得最佳工艺条件,进而提升良率。方法 以APP清洗功率、清洗时间和刻蚀时间为影响因素,以关键尺寸偏差(CD Bias)、均一性、坡度角作为因变量,开展正交试验,明确因素影响重要性顺序;然后,对Cu电极坡度角的形成和刻蚀均一性变化进行分析;最后,采用回归分析获得刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式。结果 结果表明:刻蚀时间对刻蚀性能的影响最大,对APP清洁时间和功率的影响较小。刻蚀时间延长,关键尺寸偏差(CD Bias)增加、均一性变差、坡度角变大。为改善均一性和平缓坡度角,应缩短刻蚀时间。最佳工艺组合为:刻蚀时间85 s,APP电压9 kV,APP传输速度5 400 r/min。结论 刻蚀时间延长,未被光刻胶覆盖的Cu膜层被完全刻蚀,形成台阶,该台阶使刻蚀液形成回流路径。沿着回流路径,刻蚀液浓度、温度逐渐下降,刻蚀均一性由此恶化,坡度角因此增加。采用回归分析得到的刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式,为预测刻蚀效果和优选刻蚀时间提供了依据。

资料非均一性对分析淮河流域平均气温变化趋势的影响

均一性长序列气象资料是研究气候变化的重要基础,评估资料非均一性对分析淮河流域平均气温变化的影响,对于准确理解农业、生态和水资源等领域对气候变暖的响应具有一定指导意义。本研究基于国家气象信息中心提供的淮河流域172个台站1961-2018年逐日平均气温均一化数据和观测数据,采用一元线性回归计算气温变化速率,并通过定义非均一性影响及其贡献率两个术语,定量评估气候资料非均一性对分析淮河流域平均气温变化趋势的影响。结果表明:淮河流域96个气象站点的平均气温序列表现出不均一性,占总站点数的55.8%。均一化前、后,区域年平均气温均显著上升,但非均一性导致增温速率被低估,非均一性影响为-0.015℃·10a^(-1),贡献率达到-6.6%;空间上,20.3%站点受到正影响,升温速率被高估,非均一性贡献率平均为21.3%;35.5%站点为负影响,升温速率被低估,贡献率平均为-43.6%。四季区域平均气温的非均一性影响差异较小,春、夏、秋、冬四季分别为-0.016℃·10a^(-1)、-0.014℃·10a^(-1)、-0.016℃·10a^(-1)和-0.015℃·10a^(-1);但由于夏季增温速度最慢,非均一性贡献率绝对值最大,贡献率为-40.0%,春、秋和冬季的贡献率分别为-4.7%、-8.0%和-4.3%;在春、秋和冬季,非均一性主要影响各站点的气温变化速率,但夏季有11.6%的站点在均一化前后出现了气温升降趋势的转变。

吸入气雾剂递送剂量均一性考察抽样方案对比分析

目的比较吸入气雾剂递送剂量均一性考察中不同抽样方案的差异。方法汇总2020年版《中国药典(四部)》(简称ChP)、《European Pharmacopoeia 11.0(VolumeⅠ)》(简称EP)/《British Pharmacopoeia 2023(VolumeⅢ)》(简称BP)、《USP-NF online 2024》(简称USP)及我国进口药品注册标准(简称JX)中吸入气雾剂递送剂量均一性考察的抽样方案和判定标准。以硫酸沙丁胺醇吸入气雾剂为例,按ChP及USP抽样方案分别测定4家企业(企业A,B,C,D)6批样品的递送剂量均一性。采用蒙特卡洛模拟法进行数据模拟,并绘制工作特性曲线。结果按ChP抽样方案,样品的递送剂量均一性均符合规定;按USP抽样方案,仅企业C有1批样品的平均递送剂量不符合规定(低于70μg),且与企业D样品比较差异显著(P<0.05)。ChP的工作特性曲线较其他3种判定标准更宽,接受区域更广;EP/BP与JX抽样方案第一阶段接受概率和总接受概率均较接近;USP与JX抽样方案在标准差较小(≤6)时几乎相同,随着标准差的增大,前者的第一阶段接受概率和总接受概率下降程度更显著,在标准差≥10的情况下,其总接受概率<90%。结论不同抽样方案对吸入气雾剂递送剂量均一性的接受概率存在一定差异,USP较ChP,EP/BP,JX对变异较大的产品容忍度更低。

益生菌产品工艺验证均一性指标的论证选择

益生菌产品功效成分主要为益生菌,其检测的重复性差异较大。益生菌产品辅料主要为益生元,其检测存在成本高,操作复杂等问题,所以益生菌产品在执行工艺验证时,均一性考察检测指标难于选择。通过对益生菌产品中辅料蛋白质的测定、不同益生菌粉配比产品中蛋白质含量测定、蛋白质测定方法定量限考察等试验,证实益生菌产品选择蛋白质作为工艺验证中均一性指标的合理性。同时根据不同人群对不同益生菌产品的需求,考察了多种益生菌蛋白含量以及多种益生菌产品的蛋白含量,证实选择蛋白质做均一性指标在不同产品中的合理性。

甘肃省新旧气象站址观测资料对比及均一性分析

天气预报及气候预测需要准确、连续的气象观测资料,气候变化研究需要均一化的长序列数据,为了让气象科研业务人员对新旧站址气象观测资料的连续性状况以及站址变化对长时间序列中的影响进行了解,本文对甘肃15个发生迁移的台站的1年对比观测记录进行差值和差值标准差比较分析,研究台站迁移对气象要素的影响;通过SNHT方法对迁移距离最大的张掖站和海拔高差最大的宁县站进行均一化检验,研究台站迁移对长序列数据的影响。结果显示:从差值和差值标准差情况看,新站址气温偏低,风速偏高,相对湿度大部分新站偏大,台站迁移对平均气温和最低气温的影响大于对最高气温的影响,平均气温、最低气温单站差值大的站迁移的距离和高差相对也大;从差值绝对值和标准差与台站迁移距离及海拔高差的相关性看,海拔高差对最高气温和平均风速影响较大,而迁移距离对平均气温、最低气温、相对湿度影响较大;从选择的代表台站序列均一性检验结果看,显示迁移直线距离大或者海拔高差大会对气温序列造成非均一性影响,但是否在某阈值范围会有影响以及对其他要素的影响还需要深入研究。希望科研业务人员在使用气温资料的时候要注意到台站迁移可能带来的影响。

黑龙江气温资料均一性订正及长期趋势分析

采用加拿大环境部研发的RHtests均一化系统,结合台站详细的历史沿革信息,对1951~2019年黑龙江省83个气象台站逐日平均、最高和最低气温进行了均一性检验和订正,与均一化逐日气温数据集(CHTM)进行了对比研制,重点评估了最近10年观测仪器换型对资料均一性的影响;基于均一化气温日值数据,统计了黑龙江省极端气温指数:持续冷日日数(CSDI)、霜冻日数(FD)、冰冻日数(ID)和气温日较差(DTR)。结果表明:1951~2019年,日平均气温、最高气温和最低气温分别存在40个、20个和57个断点,台站迁移、仪器变化和自动观测业务软件升级是造成黑龙江省气温序列非均一的主要原因,订正后的气温序列空间一致性更高,平均气温和最低气温的变化趋势分别由0.27℃/10 a和0.25℃/10 a上升为0.29℃/10 a和0.27℃/10 a。黑龙江省CSDI、FD和ID等极端气温指数均呈明显下降趋势,1998年中国平均气温出现历史上第二次最热记录,黑龙江省FD指数的最低值也出现在1998年。黑龙江省平均最高气温升温趋势比平均最低气温升温趋势略小,造成DTR呈现下降趋势。

基于保肝降酶作用的舒肝宁注射液相对生物活性测定法的建立与生物均一性评价

目的考察舒肝宁注射液(SGN)的保肝降酶退黄作用,并基于保肝降酶作用,以谷丙转氨酶(ALT)活性抑制率为指标建立SGN相对生物活性测定法,评价其批内及批间的生物均一性。方法采用120μg·mL^(-1)脂多糖(LPS)刺激人正常肝细胞(L-O2)12 h建立体外急性肝损伤模型,利用微板法考察SGN对谷草转氨酶(AST)、ALT、谷胱甘肽过氧化物酶(GSH-Px)活性和总胆红素(TBIL)、直接胆红素(DBIL)、丙二醛(MDA)含量的影响,评价其保肝降酶退黄作用,再通过考察SGN中12个主要成分(黄芩苷、黄芩素、绿原酸、新绿原酸、隐绿原酸、次黄嘌呤、L-亮氨酸、栀子苷、鸟苷、尿苷、腺苷、京尼平龙胆双糖苷)对上述指标的影响,筛选具有明显量效关系的成分与指标。通过可靠性检验筛选标准品和检测指标,并标定效价,按照“量反应平行线(3,3)法”计算SGN保肝降酶生物活性相对效价,并评价SGN批内和批间生物均一性。结果与Control组比较,LPS组AST、ALT活性明显增强,TBIL、DBIL、MDA含量明显升高,GSH-Px活性明显减弱;与LPS组比较,SGN-M、SGN-H组AST、ALT活性明显减弱,TBIL、DBIL、MDA含量明显降低,GSH-Px活性明显增强;SGN-L组TBIL、DBIL、MDA含量明显降低。SGN的12个成分中同时具有保肝降酶退黄作用的为黄芩苷和绿原酸,并筛选出呈剂量依赖性的指标和成分。通过可靠性检验结果选择以SGN批次(20210112)为标准品,ALT活性抑制率为检测指标,建立基于保肝降酶作用的SGN生物活性测定法。利用“量反应平行线(3,3)法”计算SGN保肝降酶生物活性相对效价,同一批次10个不同SGN(批次:20210324)保肝降酶生物效价在95.6%~111.9%;不同批次的9个不同SGN保肝降酶生物效价在95.6%~103.8%。结论SGN能减轻LPS诱导的L-O2细胞急性肝损伤,改善肝功能,降低胆红素及氧化应激水平,从而发挥保肝降酶退黄作用。SGN的12个主要成分中黄芩苷和绿原酸可以同时抑制AST、ALT活性,降低TBIL、DBIL、MDA含量,增强GSH-Px活性,是其保肝降酶退黄的主要有效成分。建立的SGN生物活性测定方法精密度高、结果可靠,可用于SGN生物学质量控制。

三亚站气温序列非均一性检验订正及其变化特征分析

利用RHtestsV4软件包中的PMF方法对三亚国家基本气象站1959—2020年的逐月气温序列进行均一性检验,结果显示,气温序列存在非均一性。月平均气温和月平均最高气温序列突变主要是由迁站引起,月平均最低气温序列的不连续受观测时次变更和迁站共同影响。对于观测时次变更引起的突变选用QM订正法进行订正;对于迁站引起的突变,采用高度订正法将迁站后的气温序列订正到迁站前同高度。通过订正得到三亚国家基本气象站均一化的月气温序列,对订正结果进行趋势分析,结果表明:1959—2020年三亚年平均气温、年平均最高气温和最低气温均呈增温趋势,增温幅度分别为0.27、0.24和0.46℃/10a,其中,年平均最低气温的增温趋势最强;月平均气温、月平均最低气温序列在不同月份均呈显著性增温趋势,冬季的增温趋势强于夏季,月平均最高气温在夏季的增温趋势强于其他季节。本研究结论有利于气候资料持续应用,也为今后气候变化、气候预测等相关科研提供参考依据。

给体-受体型二维共轭聚合物的分子共平面性对阻变均一性的影响

有机忆阻器具有超快速度、超低功耗、非易失性存储等优势,有希望成为突破当前冯·诺依曼瓶颈和摩尔定律极限的关键电子元器件。利用2,6-双(三甲基锡)-4,8-双(5-己基-2-噻吩)-苯并[1,2-b:4,5-b’]二噻吩,4,9-二溴-6,7-双苯基[1,2,5]噻二唑-[3,4-g]喹喔啉和4,8-二溴苯并[1,2-c:4,5-c']双[1,2,5]噻二唑,通过Stille偶联法合成得到两种新型二维共轭给体-受体型聚合物pBDTT-PTQx和pBDTT-BBT,通过选取位阻较小的取代基、长度较短的烷基链和强推拉电子效应的共轭给体-受体单元优化分子共平面性,并对比研究了共平面性对材料阻变特性的影响。两种材料均具有高鲁棒性的Flash型阻变行为,可循环擦写100圈以上,其中pBDTT-BBT具有更好的分子共平面性,器件表面均方粗糙度仅为1.71 nm,开/关电压的扰动系数仅为9.4%和6.7%,高/低阻态的扰动系数为13.7%和9.4%,相较于PBDTT-PTQx,开/关电压与高/低阻值的稳定性和均一性获得很大提升。

IGZO TFT阈值电压均一性及稳定性研究

调查和研究了现有IGZO薄膜制备工艺,改善了成膜均一性及稳定性,进一步稳定了阈值电压,提升了器件稳定性。首先,通过调整IGZO成膜设备掩膜版的位置,改善基板边缘IGZO膜厚偏薄的状况,提升整面基板阈值电压的均一性;然后,通过分析磁控溅射成膜中磁铁摆动角度的调整对IGZO成膜均一性的影响,确定最优的成膜方式,有效改善阈值电压分布。最后,针对不同氧分压成膜条件,结合残余气体分析,进一步分析研究成膜过程中气体组分,尤其氧气对阈值电压稳定性的影响。研究发现,改善基板边缘及整面IGZO膜厚的均一性,可有效提升TFT器件阈值电压的均一性;控制IGZO成膜过程中氧分压波动,可提高阈值电压的稳定性。

长江三角洲地区降水资料的均一性检验与订正试验

该文对1961—2002年我国长江三角洲地区36个地面观测站的年、月降水资料序列作均一性检验和订正试验,以探讨我国年、月降水气候观测序列的均一化方法和思路。该文首先从与待检台站序列相关性较好、台站距离较近的台站中选取了若干站点作为待检台站的参考台站建立参考序列,采用传统的标准正态检验(SNHT)方法,对所研究的地区年降水的均一性进行了检验。检验结果显示,该地区降水序列中存在非均一性现象。考虑到所选地区站点密度仍然不够,文中还采用了一种不依赖于参考台站的思路,对上述检验结果进行了进一步确认后,最后对不连续序列进行了逐月订正调整。对比分析表明,对序列的订正较为合理。在已有的研究基础上,结合我国台站网络实际特点,提出结合不同思路来研究我国降水量数据均一性是必要的和可行的,应用该思路对于我国降水序列进行均一性研究具有一定的合理性和应用前景。

库车坳陷油气相态分布的不均一性及其控制因素

通过对库车坳陷不同地区油气地球化学特征的详细研究,发现库车坳陷油、气相态分布及地球化学特征具有不均一性。造成这种非均一性的原因有:烃源岩成熟程度的差异引起气/油比以及天然气地球化学特征的差异;成烃母质不同,造成液态烃与气态烃产率变化的多样性;在盖层封闭性稍差地区、有断裂破坏地区,天然气大量散失可形成残余油藏。库车坳陷存在多期成藏、多期构造运动,可捕获不同期的油气。

无皂乳液聚合法合成均一性聚苯乙烯微球

研究了聚苯乙烯微球的合成过程中 ,离子强度、聚合时间对粒径的影响及其稳定性。实验结果表明 :适当改变离子强度、聚合时间可以得到不同粒径的聚苯乙烯微球 。

青藏高原气温序列的均一性研究

气象观测资料是气候变化研究的基础,对气象资料进行均一性检验与订正能够提高气候变化研究的精度和准确性.利用青藏高原及周边地区1961-2010年65个气象站的逐月平均气温资料,运用PMFT方法对资料进行均一性检验与订正.结果表明:高原平均气温资料均一性状况较差,有32个站被检测出存在间断点,占总数的49%.用订正后均一的气温数据分析得出,高原1961-2010年年平均气温的升温率为0.32℃·(10a)-1,春、夏、秋、冬季的升温率依次为0.24℃·(10a)-1、0.26℃·(10a)-1、0.32℃·(10a)-1及0.48℃·(10a)-1,略小于用原始数据分析得到的结果.研究还发现,数据均一与否对高原整体气候变化分析结果影响不大,但对局地尺度的气候变化分析结果影响较大.鉴于高原的气候变化具有显著的区域差异性特征,因此,未来在对高原进行气候变化的差异性进行研究时,气象数据均一性的检验与订正工作就显得尤为重要.为提高数据均一性检验的精度,未来应加强气候资料均一性检验技术的研究并尽可能详尽地收集台站的元数据信息.

新疆太阳总辐射资料的均一性检验与气候学估算式的再探讨

参照新疆105个气象台站"元数据",在对12个辐射站逐月日照百分率与月总辐射资料序列进行质量控制检验的基础上,对无效值与缺测值进行了插补订正,继而以Potter非均一性客观检验方法对资料序列进行了非均一性检测,同时以SNTH方法对产生间断的序列进行了相应的非均一化订正。在均一化的月总辐射与月日照百分率资料序列基础上,探讨了利用辐射气候学估算总辐射的最佳方案及其系数的空间差异与年变化特征。结果表明:(1)月日照百分率序列仅乌鲁木齐与伊宁站有间断现象,而月辐射资料序列间断的有乌鲁木齐、伊宁、阿勒泰、哈密、和田站,且并非都与日照百分率序列同步间断。其中,和田、阿勒泰站月辐射资料序列非均一化现象最严重;(2)月辐射序列的间断大多出现在冬半年,这可能与冬季空中气溶胶含量的突然增加有关;(3)在利用辐射气候学估算式Q=Q0(a+bS)对新疆总辐射进行估算时,采用"单站单月式"效果最佳,单站平均绝对误差为3%～8%,系数a、b具有明显的空间分布特征与季节变化特征。除伊宁站外,两者还具有显著且稳定的互补关系;(4)新疆的年总辐射分布特征为自东向西、自南向北依次递减,天山山区为低值中心。秋季纬向特征最明显,冬季次之,春季转为经向,夏季多呈"涡状",且南北疆两大盆地辐射差异小。

多种均一性检验方法比较研究

气候资料的均一性检验对气候观测及变化研究有着重要作用。本文从四川省160个台站近50年气温资料中,选取具有连续观测记录的站点105个,综合SNHT(标准正态均一性检验)、Buishand检验、Pettitt检验、MASH(均一性序列多元分析)、TPR(二位相回归检验)和von Neumann比率法,对该省年平均气温进行均一性检验。结果表明有42个台站存在序列间断点,占40%;而不均一台站中,因迁站导致的有29个,更换仪器引起的有19个。对气温序列分年代统计发现不均一台站数目有增加的趋势,其中20世纪60—70和80—90年代不均一性均由台站迁移所致。评估不同检验方法的敏感度和适用性,发现SNHT法与Buishand法、Pettitt法检验结果相符率为48.6%,TPR法与其他方法相符率偏低,但该法不涉及邻近站是否均一,在分析中可做补充判断。参考四川省地形特征分析,SNHT法在盆地及山地台站的断点显露率最高,分别为67.6%和57.1%,漏检和误判较少;高原地区SNHT法和Buishand法显露率较高,其中Buishand法漏检和误判率最低。鉴于减小对元数据依赖度的均一化检验思路,应采用多种检验方法综合,有助于气候资料在区域气候变化研究中的有效利用。

台站迁移对陕西省气温资料均一性的影响及其偏差订正

利用陕西省74个台站1961-2008年气温资料和台站沿革资料,采用二相回归法进行均一性检测和订正。结果发现台站迁移对气温资料的均一性有明显的影响,陕北台站迁移较少,关中和陕南迁站较多,全省74个台站中有24个台站资料的非均一性是因为台站迁移而引起的,对其中的12个台站进行了调整,使得全省气温序列从南至北分布具有较好的‘均一性'。

渤海西部海平面资料均一性订正及变化特征

海平面资料的质量直接影响到海洋与气候分析的准确性,同时也影响了海洋与气候变化监测、检测和预测工作的业务质量和研究水平的提高。以渤海西部资料序列变动明显的塘沽站(纳入全球海平面观测系统)、建站较短的京唐港和曹妃甸站为例,从长期趋势、年际和年代际周期波动、季节海平面变化以及与邻近站比较等方面详细介绍了资料序列发生突变的时间段诊断、变化原因、变动幅度以及订正方式。使用订正完的海平面月均及年均长期资料序列分析了海平面变化的长期趋势、周期性波动、季节变化特征等,结果能很好地反映出局地区域的海平面变化特征,同时对于研究中国沿海以及西太的海平面变化及气候变化有着重要的意义。

气温序列非均一性检验方法的研究

采用距平累加法、连续ｔ－检验及回归检验法对分布於２５个省（区）３１个站的气温序列进行了非均一性检验。结果表明这３种方法在显著性水平α＝０．０１时，能有效地检验气温序列的非均一性，其结论适用於全国。

PMFT方法对我国年平均风速的均一性检验

利用惩罚最大F检验(PMFT)方法并结合详尽的台站历史沿革信息对我国701个气象观测台站年平均风速资料进行了均一性检验,结果表明该检验方法能够应用于对年平均风速资料进行均一性检验,我国年平均风速资料的不连续点主要集中在1～2个,已检验的701个台站中有61.3%的台站年平均风速序列是均一的,表明我国大部分台站风速资料均一性情况良好。仪器变化和台站迁移是引起年平均风速序列非均一性的主要原因,而仪器变化中的仪器换型是造成年平均风速序列非均一性的最重要原因。