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双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化
1
作者
王昱琳
叶玉堂
+3 位作者
吴云峰
赵爱英
焦世龙
范超
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期6-10,共5页
激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质...
激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质浓度分布的均匀化整形。对于InP衬底的CO2激光诱导Zn扩散,利用温度闭环测控系统测得的基片表面热斑温度场分布,分析计算了两次激光诱导扩散重叠区域的浓度分布积分效应。在此基础上模拟计算出,用双次曝光积分效应做杂质浓度分布的均匀化整形时,基片上两次激光照射位置的最佳间隔为20μm。这为改进激光诱导扩散工艺,用多次曝光实现面均匀的杂质浓度分布奠定了理论基础。
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关键词
激光诱导扩散
双次曝光积分效应
扩散杂质浓度分布
均匀化整形
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职称材料
激光探测灵敏度精确测量技术
被引量:
4
2
作者
王旭
张延坤
《光电技术应用》
2013年第5期78-80,共3页
主要介绍激光探测灵敏度精确测量技术。采用激光光束均匀化整形技术和激光衰减数控调整等先进技术实现对激光探测灵敏度的精确测量,经相关试验验证,对激光探测灵敏度检测可输出激光功率密度范围为0.32×10^-6~1.43W/mm^2.不...
主要介绍激光探测灵敏度精确测量技术。采用激光光束均匀化整形技术和激光衰减数控调整等先进技术实现对激光探测灵敏度的精确测量,经相关试验验证,对激光探测灵敏度检测可输出激光功率密度范围为0.32×10^-6~1.43W/mm^2.不确定度变化范围为2.0%~9.1%,动态范围为66dB。
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关键词
精确测量
均匀化整形
数控调整
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职称材料
题名
双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化
1
作者
王昱琳
叶玉堂
吴云峰
赵爱英
焦世龙
范超
机构
电子科技大学光电信息学院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期6-10,共5页
基金
国家自然科学基金资助课题(60277008)
教育部重点科技项目资助课题(03147)
四川省科技厅资助课题(04GG021-020-01)
文摘
激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时,微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数,必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差,无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质浓度分布的均匀化整形。对于InP衬底的CO2激光诱导Zn扩散,利用温度闭环测控系统测得的基片表面热斑温度场分布,分析计算了两次激光诱导扩散重叠区域的浓度分布积分效应。在此基础上模拟计算出,用双次曝光积分效应做杂质浓度分布的均匀化整形时,基片上两次激光照射位置的最佳间隔为20μm。这为改进激光诱导扩散工艺,用多次曝光实现面均匀的杂质浓度分布奠定了理论基础。
关键词
激光诱导扩散
双次曝光积分效应
扩散杂质浓度分布
均匀化整形
Keywords
Laser induced diffusion
Integration effects of twice irradiations
Distribution of impurity concentration
Homogenization
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
激光探测灵敏度精确测量技术
被引量:
4
2
作者
王旭
张延坤
机构
某部驻沈阳地区军事代表办事处
出处
《光电技术应用》
2013年第5期78-80,共3页
文摘
主要介绍激光探测灵敏度精确测量技术。采用激光光束均匀化整形技术和激光衰减数控调整等先进技术实现对激光探测灵敏度的精确测量,经相关试验验证,对激光探测灵敏度检测可输出激光功率密度范围为0.32×10^-6~1.43W/mm^2.不确定度变化范围为2.0%~9.1%,动态范围为66dB。
关键词
精确测量
均匀化整形
数控调整
Keywords
accurate measurement
homogenization shaping
number control (NC) adjustment
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化
王昱琳
叶玉堂
吴云峰
赵爱英
焦世龙
范超
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
下载PDF
职称材料
2
激光探测灵敏度精确测量技术
王旭
张延坤
《光电技术应用》
2013
4
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职称材料
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