阵列式音圈电机定位控制系统的设计

根据光刻机光场均匀性校正器的定位控制特点,设计了阵列式音圈电机定位控制系统,提出了复合非线性反馈(CNF)结合干扰观测器(DOB)的控制算法。根据设计的控制系统物理模型,完成算法设计与仿真比较,并在实验装置中实现定位控制。仿真和实验结果表明,阵列式音圈电机定位控制系统和控制算法能够满足实际需求,且能抑制外界扰动,具有响应速度快、超调量低、定位精度高和鲁棒性强等优点。