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题名宽带束离子注入机均匀性调节与控制方法研究
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作者
彭立波
钟新华
张赛
张进学
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机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2016年第10期1-5,共5页
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文摘
宽带束离子注入机的均匀性调节系统由线圈磁铁组及可调磁极组组成,通过分析调节原理,结合实际调试中获得的可调磁极组中单个磁极调节的束流均匀性影响曲线,拟合曲线,建立束流均匀性影响模型,进一步推导出调节模型。在实际应用中,设计合理的控制方法,根据束流的实际情况,采用内/外插值法,适时调节束流均匀性影响模型参数组,可改善模型的适应性。经过测试表明,采用基于束流均匀性调节模型的迭代调节方法,可实现束流均匀性调节,测试注入300 mm硅片的方块电阻均匀性达到1.17%。
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关键词
宽带束
离子注入机
均匀性调节
迭代算法
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Keywords
Ribbon beam
Implanter
Uniform adjustment
Iterate algorithm
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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题名均匀性调节在集中供热中的应用
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作者
李昕
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机构
太原市热力公司
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出处
《机械工程与自动化》
2014年第5期200-201,共2页
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文摘
在太原市热力公司一电集中供热系统的运行管理中,采用均匀性调节,利用有线和光纤网络传输方式将集中供热热力站的相关参数连接到中央监控层,实现了系统的自动调整运行。对系统的用户维护功能、控制模式设定功能、联网运行方案设定功能、一次网电动调节阀及二次网变频循环泵的时间表设定功能、数据排行功能、获得历史数据快照功能等做了详细说明。
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关键词
自动控制
均匀性调节
集中供热
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Keywords
auto-control
uniform control
central heating
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TU995
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名一次风送粉管风粉分配均匀性调节研究
被引量:1
- 3
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作者
骆鹏超
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机构
国能福州热电有限公司
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出处
《电站系统工程》
2022年第3期38-40,43,共4页
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文摘
在实际运行中,风粉分配的均匀性对煤粉的清洁高效燃烧以及锅炉设备的安全运行有着重要意义。以某电厂中速磨煤机的送粉管为研究对象,运用数值模拟的方法,探究调节阀技术和射流技术对风粉分配的影响。结果表明,调节阀技术在一定限度内可将煤粉浓度分配偏差降低至10%以内,超出一定限度时,可采用两种技术相结合的方法将煤粉浓度分配偏差降低至10%以内。
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关键词
风粉分配
均匀性调节
调节阀技术
射流技术
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Keywords
air coal distribution
uniformity adjustment
regulating valve technology
jet flow technology
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分类号
TK16
[动力工程及工程热物理—热能工程]
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题名供热系统控制分析
被引量:8
- 4
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作者
王晓瑜
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机构
西安外事学院自动化系
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出处
《自动化技术与应用》
2009年第7期99-102,共4页
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文摘
本文以供热系统目前存在的问题为研究对象,针对集中供热系统的特点,设计了整个系统的运行控制方案,确保用户在用热的要求下,减少废气的排放,提高供热单位的经济效益。
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关键词
集中供热
大流量
小温差
均匀性调节
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Keywords
central heating System
high flow rate,small temperature difference
balanced regulation
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分类号
TP29
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名热力控制系统分析与研究
被引量:1
- 5
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作者
王晓瑜
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机构
西安外事学院自动化系
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出处
《渭南师范学院学报》
2009年第5期28-31,共4页
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文摘
文章以热力系统目前存在的问题为研究对象,分析热力系统集中供热系统的特点,设计了整个系统的运行控制方案,确保在满足用户用热的要求下,减少废气的排放,提高供热单位的经济效益.
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关键词
集中供热
大流量
小温差
均匀性调节
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Keywords
central heating control system
big discharge small temperature difference
homogeneity regulation
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分类号
O414.1
[理学—理论物理]
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题名对集中供热电气自动控制的探讨
被引量:3
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作者
石金凯
徐海潮
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出处
《区域供热》
2013年第5期89-92,共4页
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文摘
本文分析了集中供热系统的组成和配置,并结合工程实践,对集中供热的电气自动控制进行了研究,提出了对集中供热系统进行电气自动控制的方案,随工作情况自动调整供热参数,使得集中供热系统能够稳定运行,从而保证供热效果,降低集中供热系统的热能和电能损耗。同时,也能够远程控制集中供热系统的各个站点及其设备,提高生产效率,实现自动化管理。
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关键词
集中供热
自动控制
均匀性调节
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分类号
TU995
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名自动控制在集中供热系统中的应用
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作者
李志红
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机构
太原市热力公司东山分公司
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出处
《科技风》
2008年第11期103-103,共1页
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文摘
随着国家对节能环保要求的不断提高,现在越来越多的供热企业采用了集中供热的模式,集中供热是采用间接供热的方式,将一次网和二次网隔开,通过热力站进行换热,减少了污染源,提高了环境质量。
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关键词
自动控制
均匀性调节
全网平衡软件
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分类号
TU9
[建筑科学]
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