基于GMR的大动态范围非接触位移检测系统的设计研究

针对大动态范围、高分辨率、非接触位移测量的要求，通过详细分析制约GMR传感器系统检测分辨率提高的因素，提出了可配置均匀梯度的交变磁场技术以符合大动态检测范围的要求，并结合锁定放大技术以及多传感器数据融合技术设计出高分辨率的新型低成本检测系统。经分析初步试验结果，发现至少在0—100mm的动态范围内其检测分辨率可以达到0．1μm，验证了设计研究的合理性，为包括芯片植入式骨骼强度研究等众多非接触精密位移检测应用所需的MEMS芯片设计提供了工程原型。