一种提升均匀自由度的稀疏阵列设计

针对压缩阵元间距的互质阵列差分共阵存在孔洞、均匀自由度低导致欠定波达方向估计性能受限的问题,提出了一种改进的稀疏阵列设计。首先,通过分析阵列结构对差分共阵冗余性与孔洞位置的影响,得出调整压缩阵元间距的互质阵列的子阵列位置,能够有效地减少差分共阵的冗余,增加连续延迟,提高均匀自由度;其次,调整子阵列阵元位置,给出设计稀疏阵列物理阵元位置的闭式表达式;然后,根据阵元位置推导得到提出的稀疏阵列自由度、均匀自由度以及差分共阵孔洞位置的闭式表达式。理论分析表明,相同阵元数目时,相较于压缩阵元间距的互质阵列及其改进稀疏阵列,该稀疏阵列具有更高的自由度、均匀自由度。最后,利用基于空间平滑的多重信号分类算法,在多种场景下展开波达方向估计仿真实验。结果表明,提出的稀疏阵列在多种实验条件下均具有更优的波达方向估计性能,验证了该设计的有效性。

光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法

提出了一种光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法。当照明光瞳的部分相干因子发生变化时,该方法的校正手指只需整体在光轴方向进行微调就能使照明光场的均匀性满足要求。仿真分析了校正手指的三维空间移动对照明光场均匀性的影响,并验证了该方法的高效性。