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高混杂波对均匀ECR等离子体的影响
1
作者
李兵
《等离子体应用技术快报》
2000年第2期24-25,共2页
关键词
电子回旋共振
离子
源
等
子体
加工
蚀刻
均匀ecr等离子体
高混杂波
下载PDF
职称材料
题名
高混杂波对均匀ECR等离子体的影响
1
作者
李兵
出处
《等离子体应用技术快报》
2000年第2期24-25,共2页
关键词
电子回旋共振
离子
源
等
子体
加工
蚀刻
均匀ecr等离子体
高混杂波
分类号
TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学]
O53 [理学—等离子体物理]
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职称材料
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作者
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1
高混杂波对均匀ECR等离子体的影响
李兵
《等离子体应用技术快报》
2000
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