变孔径像面散斑平均光强标定随机表面的理论与实验

采用随机表面的高斯相关模型和统计光学原理 ,推导出弱散射体在 4f系统中的像面上光强的表达式 .在此基础上提出了均方偏差粗糙度和横向相关长度的标定方法 ,该方法用理论结果对实验测量的像面散斑平均光强随滤波孔半径的关系曲线进行拟合 ,同时测量出被测样品表面的两个统计量 .实验上制作了高斯相关随机表面样品 ,对其表面参数进行了测量 ,与AFM所测结果符合得较好 ,这表明该方法具有较高的精度 .