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高功率脉冲电源的研制
被引量:
9
1
作者
贺岩斌
王志鹏
曾旭初
《电力电子技术》
CSCD
北大核心
2011年第5期78-80,共3页
高功率脉冲磁控溅射以其高离化率、高薄膜性能等特点得到广泛关注。介绍了高功率脉冲电源系统的原理和研制,提出了基于全桥逆变、电容储能、均流斩波等环节实现电源的方案,分别阐述了主回路、控制系统、保护电路的设计思路。电源系统采...
高功率脉冲磁控溅射以其高离化率、高薄膜性能等特点得到广泛关注。介绍了高功率脉冲电源系统的原理和研制,提出了基于全桥逆变、电容储能、均流斩波等环节实现电源的方案,分别阐述了主回路、控制系统、保护电路的设计思路。电源系统采用全桥逆变实现初级能源,电容储能实现中间能源,均流斩波实现功率输出,单片机和SG3525实现控制部分。实验结果证明电源运行可靠,输出特性良好,抗干扰能力强。
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关键词
高功率脉冲电源
磁控溅射电源
均流斩波
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职称材料
题名
高功率脉冲电源的研制
被引量:
9
1
作者
贺岩斌
王志鹏
曾旭初
机构
核工业西南物理研究院
出处
《电力电子技术》
CSCD
北大核心
2011年第5期78-80,共3页
文摘
高功率脉冲磁控溅射以其高离化率、高薄膜性能等特点得到广泛关注。介绍了高功率脉冲电源系统的原理和研制,提出了基于全桥逆变、电容储能、均流斩波等环节实现电源的方案,分别阐述了主回路、控制系统、保护电路的设计思路。电源系统采用全桥逆变实现初级能源,电容储能实现中间能源,均流斩波实现功率输出,单片机和SG3525实现控制部分。实验结果证明电源运行可靠,输出特性良好,抗干扰能力强。
关键词
高功率脉冲电源
磁控溅射电源
均流斩波
Keywords
high power pulsed supply
magnetron sputtering supply
current sharing chopping
分类号
TN86 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高功率脉冲电源的研制
贺岩斌
王志鹏
曾旭初
《电力电子技术》
CSCD
北大核心
2011
9
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